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    Molybdenum alloy
    1.
    发明申请
    Molybdenum alloy 审中-公开
    钼合金

    公开(公告)号：US20060172454A1

    公开(公告)日：2006-08-03

    申请号：US11334221

    申请日：2006-01-18

    申请人： Hans-Henning Reis ,  Thomas Furche ,  Klaus Andersson

    发明人： Hans-Henning Reis ,  Thomas Furche ,  Klaus Andersson

    IPC分类号： H01L21/00 ,  C23C14/32

    CPC分类号： C22C27/04 ,  B22F2003/248 ,  B22F2998/10 ,  C23C4/08 ,  C23C14/3414 ,  B22F3/02 ,  B22F3/20 ,  B22F3/24 ,  B22F3/17

    摘要： The invention relates to a molybdenum alloy that includes: 94 to 99 weight % of molybdenum; 0.5 to 6 weight % of niobium; and 0.01 to 1 weight % of zirconium. The invention also relates to metal substrates that include such a molybdenum alloy, and anode disks for rotating anode x-ray tubes that include the substrate. Also described are methods of preparing tubular-shaped and disk-shaped molybdenum alloy based sputtering targets.

    摘要翻译： 本发明涉及一种钼合金，其包括：94〜99重量％的钼; 0.5〜6重量％的铌; 和0.01〜1重量％的锆。 本发明还涉及包括这种钼合金的金属基底和用于旋转包括基底的阳极x射线管的阳极盘。 还描述了制备管状和盘形钼合金的溅射靶的方法。