公开(公告)号：US20120061836A1

公开(公告)日：2012-03-15

申请号：US12883170

申请日：2010-09-15

申请人： Lilly Q. Guo ,  Meng Tao ,  Kunhee Han

发明人： Lilly Q. Guo ,  Meng Tao ,  Kunhee Han

IPC分类号： H01L23/532 ,  B05D5/12 ,  H05K1/09

CPC分类号： C23C18/1258 ,  C23C18/1216 ,  C23C18/1291 ,  C23C18/1295

摘要： One example embodiment includes a method for applying a transparent conducting oxide. The method includes providing a solution, where the solution includes a solvent, a zinc precursor and an yttrium precursor. The method also includes spraying the solution on a heated substrate, where the heated substrate turns the solution into an yttrium-doped zinc oxide film. The method further includes annealing the film on the substrate in a controlled environment.

摘要翻译： 一个示例性实施例包括用于施加透明导电氧化物的方法。 该方法包括提供溶液，其中溶液包括溶剂，锌前体和钇前体。 该方法还包括将溶液喷涂在加热的基底上，其中加热的基底将溶液转变成掺杂钇的氧化锌膜。 该方法还包括在受控环境中对基底上的膜进行退火。