公开(公告)号：US20120205787A1

公开(公告)日：2012-08-16

申请号：US13423838

申请日：2012-03-19

申请人： Dario L. Goldfarb ,  Libor Vyklick ,  Sean D. Burns ,  David R. Medeiros ,  Daniel P. Sanders ,  Robert D. Allen

发明人： Dario L. Goldfarb ,  Libor Vyklick ,  Sean D. Burns ,  David R. Medeiros ,  Daniel P. Sanders ,  Robert D. Allen

IPC分类号： H01L21/312 ,  H01L29/02

CPC分类号： G03F7/091

摘要： An antireflective coating that contains at least two polymer components and comprises chromophore moieties and transparent moieties is provided. The antireflective coating is useful for providing a single-layer composite graded antireflective coating formed beneath a photoresist layer.

摘要翻译： 提供了包含至少两种聚合物组分并且包含发色团部分和透明部分的抗反射涂层。 抗反射涂层可用于提供在光致抗蚀剂层下形成的单层复合渐变抗反射涂层。