公开(公告)号：US20110030733A1

公开(公告)日：2011-02-10

申请号：US12139383

申请日：2008-06-13

申请人： Dave Frost ,  Mike Rogowski ,  Yassin Mehmandoust ,  Tom Poplawski ,  Stan Young

发明人： Dave Frost ,  Mike Rogowski ,  Yassin Mehmandoust ,  Tom Poplawski ,  Stan Young

IPC分类号： B08B3/10 ,  B08B13/00

CPC分类号： H01L21/6719 ,  H01L21/67028 ,  H01L21/67051

摘要： In one embodiment, a method for cleaning a substrate in a cleaning module is disclosed. The method includes an operation that receives the substrate into a first level of the cleaning module. In another operation, the substrate is spun while contemporaneously applying a cleaning fluid to top and bottom surfaces of the substrate. In yet another operation, the substrate is spun at a second level of the cleaning module. The method also includes an operation to dry the substrate in an enclosed cavity at a third level of the cleaning module.

摘要翻译： 在一个实施例中，公开了一种用于清洁清洁模块中的基板的方法。 该方法包括将衬底接收到清洁模块的第一级中的操作。 在另一种操作中，将基材同时喷涂到基材的顶表面和底表面上。 在另一个操作中，衬底在清洁模块的第二级旋转。 该方法还包括在清洁模块的第三级别的封闭空腔中干燥基板的操作。