公开(公告)号：US5216539A

公开(公告)日：1993-06-01

申请号：US688621

申请日：1991-05-23

申请人： Pierre Boher ,  Philippe Houdy

发明人： Pierre Boher ,  Philippe Houdy

IPC分类号： G21K1/06 ,  G02B5/08 ,  G02B5/28

CPC分类号： G02B5/0875 ,  G02B5/0891

摘要： Device of the mirror type in the range of X-UV rays, comprises a periodic stack, on a support, of a system of superimposed layers, which system includes a lower layer of a first heavy element reflecting at the wavelengths of application of the mirror, and an upper spacer layer of a light element which has low optical absorption at these wavelengths. The system of superimposed layers comprises, between the lower layer and the upper layer, an intermediate layer of a second heavy element reflecting at the wavelengths of application to form a three-layer system. The heavy elements are selected to form together with the spacer element first and second pairs, first of which has greater absorption at the wavelengths of application and exhibits a ratio of contrast of real and complex indices lower than the other second pair. The heavy element of the first pair forms the lower layer of the three-layer system, the intermediate layer being composed of the heavy element of the second pair.

摘要翻译： PCT No.PCT / NL90 / 00147 Sec。 371日期1991年5月23日 102（e）日期1991年5月23日PCT提交1990年10月10日PCT公布。 出版物WO91 / 06021 日期：1991年5月2日。在X射线范围内的反射镜类型的装置包括在叠层的系统的支撑体上的周期性堆叠，该系统包括在 反射镜的应用波长，以及在这些波长处具有低光吸收的光元件的上间隔层。 重叠层的系统在下层和上层之间包括以应用的波长反射以形成三层体系的第二重元素的中间层。 选择重元素与间隔元件第一和第二对一起形成，其首先在施加的波长处具有更大的吸收，并且表现出比其他第二对低的实数和复数指数的对比度比。 第一对的重元素形成三层系统的下层，中间层由第二对的重元素组成。

公开(公告)号：US5105066A

公开(公告)日：1992-04-14

申请号：US462872

申请日：1989-12-28

申请人： Philippe Houdy ,  Roger Greco ,  Claude Morhaim ,  Francois Delarue

发明人： Philippe Houdy ,  Roger Greco ,  Claude Morhaim ,  Francois Delarue

IPC分类号： H05B3/20 ,  C23C14/22 ,  C23C14/50 ,  H01L21/00 ,  H01L21/31 ,  H01L21/687 ,  H01L23/34 ,  H01L39/24 ,  H05B3/22

CPC分类号： H01L21/68785 ,  H01L21/67103 ,  H01L23/345 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/09701

摘要： A device that includes a heating sample carrier which has a carrying surface, an electrical heating system and a frame support for receiving a frame. The electrical heating system is formed of a disk of a refractory insulating material.

摘要翻译： 一种装置，其包括具有承载表面的加热样品载体，电加热系统和用于接收框架的框架支架。 电加热系统由难熔绝缘材料的盘形成。