公开(公告)号：US06966560B2

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：US10631330

申请日：2003-07-31

申请人： Walter Demel ,  Ralph Zoberbier

发明人： Walter Demel ,  Ralph Zoberbier

IPC分类号： G03F7/20 ,  B23Q3/08 ,  H01L21/027 ,  H01L21/683 ,  B23B31/30

CPC分类号： H01L21/6838 ,  Y10T279/11

摘要： A device or chuck for fixing thin and/or flexible substrates allows a uniform and all-over sucking-up of the substrates without any disadvantageous warping or bending. The chuck has notches and holes communicating with a plurality of microgrooves arranged on the bearing surface. If a vacuum device sucks off air through the bores and the notches, a vacuum extends in the microgrooves so that a substrate located on the bearing surface is sucked up.

摘要翻译： 用于固定薄和/或柔性基板的装置或卡盘允许基板的均匀和全面吸附，而没有任何不利的翘曲或弯曲。 卡盘具有与布置在支承表面上的多个微槽连通的凹口和孔。 如果真空装置通过孔和凹口吸出空气，则真空在微槽中延伸，使得位于支承表面上的基板被吸入。