公开(公告)号：US5690745A

公开(公告)日：1997-11-25

申请号：US544158

申请日：1995-10-17

申请人： Heinrich Grunwald ,  Hermann Kloberdanz ,  Roland Lacher ,  Siang-Hong Boll

发明人： Heinrich Grunwald ,  Hermann Kloberdanz ,  Roland Lacher ,  Siang-Hong Boll

IPC分类号： B05D3/04 ,  B05D7/02 ,  B05D7/22 ,  B05D7/24 ,  B29C59/14 ,  B60K15/03 ,  C08F2/52 ,  C08J7/00 ,  H05H1/46 ,  C23C16/00

CPC分类号： B05D1/62 ,  B05D7/227 ,  B29C59/142 ,  B60K15/03177 ,  H05H1/46

摘要： A treatment chamber (1) evacuable by vacuum pumps (13,13') has a mounting (26,26', . . .) bearing the hollow body (4) in the treatment chamber (1), and a line (9,9') for the admission of a process gas into the treatment chamber (1). A microwave conductor (20,20' . . .) is connected with a generator (19,19' . . .) for igniting a plasma in the area of channels formed by a sheet-metal shroud (2,2') matching the configuration of the hollow body (4). A closure (7,7') is provided through which the filler opening (6, 6') of the hollow body (4) can be closed pressure-tight, and a line (9,9') for the process gas passes through the closure.

摘要翻译： 由真空泵（13,13'）排空的处理室（1）具有在处理室（1）中承载空心体（4）的安装件（26,26'）， 9'），用于将处理气体进入处理室（1）。 微波导体（20,20'）与发生器（19,19'）连接，用于点燃由与金属外壳（2,2'）相匹配的金属板（2,2'）形成的通道区域中的等离子体 中空体（4）的构造。 提供一个封闭件（7,7'），中空体（4）的填料开口（6,6'）通过该封闭件可以被压缩密封，并且用于工艺气体的管线（9,9'）通过 关闭。