公开(公告)号：US4134066A

公开(公告)日：1979-01-09

申请号：US780877

申请日：1977-03-24

申请人： Marcel J. Vogel ,  Siegfried F. Vogel

发明人： Marcel J. Vogel ,  Siegfried F. Vogel

IPC分类号： G11C11/14 ,  G01B3/02 ,  G01B11/30 ,  G01N27/04 ,  G01N27/20 ,  G03F7/20 ,  H01F10/00 ,  H01L23/544 ,  G01R33/00

CPC分类号： G03F7/70483 ,  G01B11/303 ,  G01B3/02 ,  H01L23/544 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S438/975

摘要： A wafer indexing and mapping system is useful for precisely locating artifacts, defects, and fabricated structural components on a wafer. A permanent micrometer grid pattern is applied to the backside of the wafer, for example, a transparent bubble wafer. The grid pattern forms an array of uniform size cells, for example, 40 unit cells wide by 40 unit cells long. Each unit cell is divided into smaller units on each side. Each cell contains a coding or indexing system to identify the row and column of the cell in the grid pattern. The grid pattern contains orientation bars which identify orientation with respect to particular wafer reference lines. The simultaneous viewing of the wafer and the grid pattern permits an accurate permanent mapping of the artifacts, defects, and fabricated structural components on the wafer, as well as on the individual small chips formed by dicing the wafer.

摘要翻译： 晶片索引和映射系统可用于精确定位晶片上的假象，缺陷和制造的结构元件。 将永久微米栅格图案施加到晶片的背面，例如透明气泡晶片。 网格图案形成均匀尺寸单元的阵列，例如，40个单元宽，40个单元长。 每个单元电池在每一侧分为较小的单元。 每个单元格包含一个编码或索引系统，用于标识网格图案中单元格的行和列。 栅格图案包含标识相对于特定晶片参考线的取向的取向条。 晶片和网格图案的同时观看允许晶片上的假象，缺陷和制造的结构部件以及通过切割晶片形成的各个小芯片的精确永久映射。

公开(公告)号：US4532802A

公开(公告)日：1985-08-06

申请号：US615638

申请日：1984-05-31

申请人： Celia E. Yeack-Scranton ,  Siegfried F. Vogel

发明人： Celia E. Yeack-Scranton ,  Siegfried F. Vogel

IPC分类号： G01R33/12 ,  G01B7/34 ,  G11B5/48 ,  G11B5/60 ,  G11B5/82 ,  G11B5/84 ,  G11B17/028 ,  G11B17/32 ,  G11B21/21 ,  G11B23/00 ,  G11B33/08 ,  G11B33/10 ,  G01B5/28 ,  G01N19/08

CPC分类号： G11B33/10 ,  G01B7/34 ,  G11B17/32 ,  G11B21/21 ,  G11B23/0021 ,  G11B33/08 ,  G11B5/4886 ,  G11B5/6005 ,  G11B5/82

摘要： A read-write head is provided with a plurality of piezoelectric transducers which produce signals related to its movement as it flies over an adjacently rotating recording disk. By filtering these signals to determine their spectral components in low, medium and high ranges, hard contacts between the head and disk, disk wear or roughness and head movement can be determined.

摘要翻译： 读写头设置有多个压电换能器，当其在相邻旋转的记录盘上飞行时，其产生与其运动相关的信号。 通过对这些信号进行滤波以确定其在低，中和高范围内的光谱分量，可以确定磁头和磁盘之间的硬接触，磁盘磨损或粗糙度以及磁头移动。