公开(公告)号：US20050230767A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：US11003005

申请日：2004-12-03

申请人： Jung Park ,  Reza Ghodssi ,  Gary Rubloff ,  Mark Kastantin ,  Sheng Li ,  Li-Qun Wu ,  Hyunmin Yi ,  Theresa Valentine

发明人： Jung Park ,  Reza Ghodssi ,  Gary Rubloff ,  Mark Kastantin ,  Sheng Li ,  Li-Qun Wu ,  Hyunmin Yi ,  Theresa Valentine

IPC分类号： B01L3/00 ,  B81B7/00 ,  B81C3/00 ,  H01L29/86

CPC分类号： B01L3/502707 ,  B01L2200/027 ,  B01L2200/0689 ,  B01L2200/12 ,  B01L2300/041 ,  B01L2300/0645 ,  B01L2300/0803 ,  B01L2300/0816 ,  B01L2300/0887 ,  B81B7/0061 ,  B81B2201/058 ,  B81C3/002

摘要： A micro-electro-mechanical system (MEMS) device is provided, along with means for its fabrication and operation for microfluidic and/or biomicrofluidic applications. The MEMS device includes a substrate, optional electrodes on the substrate, a patterned structure on the substrate, the patterned structure having a fluidic microchannel aligned with one or more of the optional electrodes, an encapsulation membrane covering the microchannel, and an optional reactive layer deposited over the electrode in the microchannel. MEMS devices of preferred embodiments permit a leak-tight seal to be formed around the microchannel and fluidic interconnects established for robust operation of fluidics-based processes. MEMS devices of other preferred embodiments permit reversible attachment and separation of the encapsulation membrane relative to the patterned structure.

摘要翻译： 提供了微机电系统（MEMS）装置，以及用于其用于微流体和/或生物微流体应用的制造和操作的装置。 MEMS器件包括衬底，衬底上的可选电极，衬底上的图案化结构，图案化结构具有与一个或多个可选电极对准的流体微通道，覆盖微通道的封装膜和沉积的任选的反应层 在微通道上的电极上。 优选实施例的MEMS器件允许围绕微通道形成密封密封，并且为基于流体流程的鲁棒操作而建立的流体互连。 其它优选实施例的MEMS器件允许封装膜相对于图案化结构的可逆连接和分离。