公开(公告)号：US09156704B2

公开(公告)日：2015-10-13

申请号：US13266850

申请日：2010-05-27

申请人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt

发明人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt

IPC分类号： C01B33/027 ,  C01B33/029 ,  C01B33/03 ,  C01B33/031 ,  C01B33/033 ,  C01B33/035

CPC分类号： C01B33/027 ,  C01B33/029 ,  C01B33/03 ,  C01B33/031 ,  C01B33/033 ,  C01B33/035

摘要： Reactor for producing silicon by chemical vapor deposition, the reactor comprising a reactor body that forms a container, at least one inlet for a silicon-bearing gas, at least one outlet, and at least one heating device as a part of or operatively arranged to the reactor, distinctive in that at least one main part of the reactor, which part is exposed for silicon-bearing gas and which part is heated for deposition of silicon on said part, is produced from silicon. Method for operation of the reactor.

摘要翻译： 用于通过化学气相沉积生产硅的反应器，所述反应器包括形成容器的反应器主体，用于含硅气体的至少一个入口，至少一个出口和至少一个加热装置，作为其一部分或可操作地布置成 该反应器由反应器的至少一个主要部分区别，该部分暴露于含硅气体，哪一部分被加热以在所述部件上沉积硅，由硅制成。 反应器运行方法。

公开(公告)号：US20120251427A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13508604

申请日：2010-11-25

申请人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt ,  Arve Holt

发明人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt ,  Arve Holt

IPC分类号： B01J19/00 ,  C23C16/24 ,  B01J19/28

摘要： Reactor for production of silicon, comprising a reactor volume, distinctive in that the reactor comprises or is operatively arranged to at least one means for setting a silicon-containing reaction gas for chemical vapor deposition (CVD) into rotation inside the reactor volume. Method for production of silicon.

摘要翻译： 用于生产硅的反应器包括反应器体积，其特征在于反应器包括或可操作地布置在至少一种用于将用于化学气相沉积（CVD）的含硅反应气体设置为在反应器体积内旋转的装置。 生产硅的方法

公开(公告)号：US20120100060A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13266850

申请日：2010-05-27

申请人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt

发明人： Josef Filtvedt ,  Werner O. Filtvedt

IPC分类号： C23C16/24 ,  B01J19/00

CPC分类号： C01B33/027 ,  C01B33/029 ,  C01B33/03 ,  C01B33/031 ,  C01B33/033 ,  C01B33/035

摘要： Reactor for producing silicon by chemical vapor deposition, the reactor comprising a reactor body that forms a container, at least one inlet for a silicon-bearing gas, at least one outlet, and at least one heating device as a part of or operatively arranged to the reactor, distinctive in that at least one main part of the reactor, which part is exposed for silicon-bearing gas and which part is heated for deposition of silicon on said part, is produced from silicon. Method for operation of the reactor.

摘要翻译： 用于通过化学气相沉积生产硅的反应器，所述反应器包括形成容器的反应器主体，用于含硅气体的至少一个入口，至少一个出口和至少一个加热装置，作为其一部分或可操作地布置成 该反应器由反应器的至少一个主要部分区别，该部分暴露于含硅气体，哪一部分被加热以在所述部件上沉积硅，由硅制成。 反应器运行方法。