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公开(公告)号：US08278765B2
公开(公告)日：2012-10-02
申请号：US12273515
申请日：2008-11-18
申请人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
发明人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
CPC分类号： H01L22/32
摘要： A test key for checking an interconnect structure is described, including a contiguous metal line and multiple conductive plugs on the contiguous metal line, wherein one end of each plug contacts with the contiguous metal line. The other end of at least one plug is not connected to any conductor. In addition, the two ends of the contiguous metal line are connected to different voltages.
摘要翻译： 描述了用于检查互连结构的测试键，包括连续金属线和连续金属线上的多个导电塞，其中每个插头的一端与相邻的金属线接触。 至少一个插头的另一端没有连接到任何导体。 此外，连续金属线的两端连接到不同的电压。
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公开(公告)号：US20070049049A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：US11162113
申请日：2005-08-29
申请人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
发明人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
IPC分类号： H01L21/31
CPC分类号： H01L22/32
摘要： A test key for checking an interconnect structure is described, including a contiguous metal line and multiple conductive plugs on the contiguous metal line, wherein one end of each plug contacts with the contiguous metal line. The other end of at least one plug is not connected to any conductor. In addition, the two ends of the contiguous metal line are connected to different voltages.
摘要翻译： 描述了用于检查互连结构的测试键，包括连续金属线和连续金属线上的多个导电塞，其中每个插头的一端与相邻的金属线接触。 至少一个插头的另一端没有连接到任何导体。 此外，连续金属线的两端连接到不同的电压。
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公开(公告)号：US20090065775A1
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：US12273515
申请日：2008-11-18
申请人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
发明人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
IPC分类号： H01L23/58
CPC分类号： H01L22/32
摘要： A test key for checking an interconnect structure is described, including a contiguous metal line and multiple conductive plugs on the contiguous metal line, wherein one end of each plug contacts with the contiguous metal line. The other end of at least one plug is not connected to any conductor. In addition, the two ends of the contiguous metal line are connected to different voltages.
摘要翻译： 描述了用于检查互连结构的测试键，包括连续金属线和连续金属线上的多个导电塞，其中每个插头的一端与相邻的金属线接触。 至少一个插头的另一端没有连接到任何导体。 此外，连续金属线的两端连接到不同的电压。
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公开(公告)号：US07514278B2
公开(公告)日：2009-04-07
申请号：US11162113
申请日：2005-08-29
申请人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
发明人： Yeh-Sheng Cheng , Hsueh-Wen Wang , Shu-Yun Liao , Chih-Ying Chien , Hsin-Yu Lu , Rui-Huang Cheng
CPC分类号： H01L22/32
摘要： A test key for checking an interconnect structure is described, including a contiguous metal line and multiple conductive plugs on the contiguous metal line, wherein one end of each plug contacts with the contiguous metal line. The other end of at least one plug is not connected to any conductor. In addition, the two ends of the contiguous metal line are connected to different voltages.
摘要翻译： 描述了用于检查互连结构的测试键，包括连续金属线和连续金属线上的多个导电塞，其中每个插头的一端与相邻的金属线接触。 至少一个插头的另一端没有连接到任何导体。 此外，连续金属线的两端连接到不同的电压。
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