公开(公告)号：US09377286B2

公开(公告)日：2016-06-28

申请号：US13985789

申请日：2011-11-17

申请人： Xinchun Lu ,  Dewen Zhao ,  Zilian Qu ,  Qian Zhao ,  Yongyong He ,  Yonggang Meng

发明人： Xinchun Lu ,  Dewen Zhao ,  Zilian Qu ,  Qian Zhao ,  Yongyong He ,  Yonggang Meng

IPC分类号： G01B7/06 ,  G01B1/00 ,  G01R1/00

CPC分类号： G01B7/10 ,  G01B1/00 ,  G01B7/105 ,  G01R1/00 ,  H01L2221/00

摘要： A device for globally measuring a thickness of a metal film (901), comprises: a base (10); a rotating unit (20) comprising a fixed member (21) fixed on the base (10) and a rotating member (22) having a rotating joint (23); a working table (50) fixed on the rotating member (22) and having a vacuum passage which is formed therein and connected with the rotating joint (23); a linear driving unit (30) including a guide rail (31) fixed on the base (10) and a sliding block (32) slidable along the guide rail (31); a cantilever beam (40) disposed horizontally and defining a first end fixed with the sliding block (32) and a second end; a measuring head (80) connected to the second end of the cantilever beam (40), facing a surface of the working table (50) and having an eddy current probe (82) disposed therein.

摘要翻译： 用于全面测量金属膜（901）的厚度的装置包括：基座（10）; 旋转单元（20）包括固定在基座（10）上的固定构件（21）和具有旋转接头（23）的旋转构件（22）; 固定在旋转构件（22）上并具有形成在其中并与旋转接头（23）连接的真空通道的工作台（50）; 线性驱动单元（30），其包括固定在基座（10）上的导轨（31）和可沿导轨（31）滑动的滑块（32）; 悬臂梁（40）水平设置并且限定固定有滑块（32）的第一端和第二端; 连接到所述悬臂梁（40）的第二端的测量头（80），面向所述工作台（50）的表面并且具有布置在其中的涡流探针（82）。

公开(公告)号：US20140062468A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：US13985789

申请日：2011-11-17

申请人： Xinchun Lu ,  Dewen Zhao ,  Zilian Qu ,  Qian Zhao ,  Yongyong He ,  Yonggang Meng

发明人： Xinchun Lu ,  Dewen Zhao ,  Zilian Qu ,  Qian Zhao ,  Yongyong He ,  Yonggang Meng

IPC分类号： G01B7/06

CPC分类号： G01B7/10 ,  G01B1/00 ,  G01B7/105 ,  G01R1/00 ,  H01L2221/00

摘要： A device for globally measuring a thickness of a metal film (901), comprises: a base (10); a rotating unit (20) comprising a fixed member (21) fixed on the base (10) and a rotating member (22) having a rotating joint (23); a working table (50) fixed on the rotating member (22) and having a vacuum passage which is formed therein and connected with the rotating joint (23); a linear driving unit (30) including a guide rail (31) fixed on the base (10) and a sliding block (32) slidable along the guide rail (31); a cantilever beam (40) disposed horizontally and defining a first end fixed with the sliding block (32) and a second end; a measuring head (80) connected to the second end of the cantilever beam (40), facing a surface of the working table (50) and having an eddy current probe (82) disposed therein.

摘要翻译： 用于全面测量金属膜（901）的厚度的装置包括：基座（10）; 旋转单元（20）包括固定在基座（10）上的固定构件（21）和具有旋转接头（23）的旋转构件（22）; 固定在旋转构件（22）上并具有形成在其中并与旋转接头（23）连接的真空通道的工作台（50）; 线性驱动单元（30），其包括固定在基座（10）上的导轨（31）和可沿导轨（31）滑动的滑块（32）; 悬臂梁（40）水平设置并且限定固定有滑块（32）的第一端和第二端; 连接到所述悬臂梁（40）的第二端的测量头（80）面向所述工作台（50）的表面并且具有布置在其中的涡流探针（82）。