公开(公告)号：US20160107877A1

公开(公告)日：2016-04-21

申请号：US14928591

申请日：2015-10-30

Applicant: Advanced Technology Materials, Inc.

Inventor： Glenn M. TOM ,  Joseph Patrick MENNING ,  Matthew KUSZ ,  Amy KOLAND ,  Donald D. WARE ,  Richard D. CHISM

IPC: B67D7/02

CPC classification number: B67D7/0261 ,  C02F1/001 ,  C02F1/20 ,  C02F2209/40 ,  F17C1/00 ,  F17C2201/0104 ,  F17C2201/0157 ,  F17C2201/054 ,  F17C2201/056 ,  F17C2201/058 ,  F17C2203/0604 ,  F17C2203/0617 ,  F17C2203/0624 ,  F17C2203/0629 ,  F17C2203/0636 ,  F17C2203/066 ,  F17C2203/0685 ,  F17C2205/0142 ,  F17C2205/0165 ,  F17C2205/0169 ,  F17C2205/0323 ,  F17C2205/0326 ,  F17C2205/0335 ,  F17C2205/0338 ,  F17C2205/0341 ,  F17C2205/0373 ,  F17C2205/0382 ,  F17C2205/0385 ,  F17C2205/0391 ,  F17C2209/219 ,  F17C2209/221 ,  F17C2221/03 ,  F17C2223/0123 ,  F17C2223/0153 ,  F17C2223/033 ,  F17C2223/043 ,  F17C2223/047 ,  F17C2227/0135 ,  F17C2227/0157 ,  F17C2227/0192 ,  F17C2227/0304 ,  F17C2227/0379 ,  F17C2227/041 ,  F17C2250/032 ,  F17C2250/0408 ,  F17C2250/043 ,  F17C2250/0439 ,  F17C2250/0443 ,  F17C2250/0452 ,  F17C2250/0478 ,  F17C2250/0491 ,  F17C2250/0495 ,  F17C2250/072 ,  F17C2260/016 ,  F17C2260/024 ,  F17C2265/012 ,  F17C2265/017 ,  F17C2265/022 ,  F17C2270/05 ,  F17C2270/0518 ,  Y10T137/2708

Abstract: A fluid dispensing system for delivering a gas free chemical. The fluid dispensing system includes a gas separation device that separates a liquid from bubbles entrained in the liquid and accumulating the gas from the bubbles in a reservoir. A level sensor detects if the liquid in the reservoir drops too low, triggering the gas separation device to vent the gas from the reservoir. An empty detect apparatus that detects pressure droop of the liquid may also be implemented for taking appropriate action.

Abstract translation: 用于输送无气体化学品的流体分配系统。 流体分配系统包括气体分离装置，其将液体与夹在液体中的气泡分离，并将气体从储存器中的气泡积聚。 液位传感器检测储液器中的液体是否下降得太低，触发气体分离装置从储存器排出气体。 还可以实施检测液体的压降的空的检测装置，以采取适当的动作。