公开(公告)号：US20020066664A1

公开(公告)日：2002-06-06

申请号：US10039808

申请日：2001-10-26

申请人： Applied Materials, Inc.

发明人： Shamouil Shamouilian ,  Anada H. Kumar ,  Donald J. Olgado ,  Joseph J. Stevens ,  Ricardo Leon ,  Jon Clinton

IPC分类号： B23H003/02

CPC分类号： H01L21/2885 ,  C25D7/123 ,  C25D17/001 ,  C25D21/12

摘要： The present invention relates to a device that supplies electricity to a substrate. In one embodiment, the device includes multiple contacts, a current sensor, and a current regulator. The current sensor is attached to each of the plurality of contacts to sense their electric current. A current regulator controls current applied to each of the multiple contacts in response to the current sensor. In another embodiment, a compliant ridge is formed about the periphery of each contact to seal the contact from undesired chemicals.

摘要翻译： 本发明涉及向基板供电的装置。 在一个实施例中，该装置包括多个触点，电流传感器和电流调节器。 电流传感器附接到多个触点中的每一个以感测其电流。 电流调节器响应于电流传感器控制施加到多个触点中的每一个的电流。 在另一个实施例中，围绕每个接触件的周边形成柔顺脊，以将接触件密封到不期望的化学物质上。