公开(公告)号：US07528960B2

公开(公告)日：2009-05-05

申请号：US11803553

申请日：2007-05-15

申请人： Artur Boesser ,  Andreas Schaaf

发明人： Artur Boesser ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： G01B11/02

CPC分类号： G01B9/02084 ,  G01B9/02007 ,  G01B2290/25 ,  G01B2290/60 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70775

摘要： A method for the high-precision measurement of coordinates of at least one structure on a substrate. A stage traversable in X/Y coordinate directions is provided, which is placed in an interferometric-optical measuring system. The structure on the substrate is imaged on at least one detector (34) via a measuring objective (21) having its optical axis (20) aligned in the Z coordinate direction. The structure is imaged with the so-called Dual Scan. Systematic errors can thereby be eliminated.

摘要翻译： 一种用于高精度测量衬底上至少一个结构的坐标的方法。 提供了在X / Y坐标方向上可移动的平台，其被放置在干涉光学测量系统中。 通过其光轴（20）在Z坐标方向上排列的测量物镜（21）将基板上的结构成像在至少一个检测器（34）上。 该结构用所谓的双扫描成像。 因此可以消除系统错误。

公开(公告)号：US20070268496A1

公开(公告)日：2007-11-22

申请号：US11803553

申请日：2007-05-15

申请人： Artur Boesser ,  Andreas Schaaf

发明人： Artur Boesser ,  Andreas Schaaf

IPC分类号： G01B11/02 ,  G01B11/00

CPC分类号： G01B9/02084 ,  G01B9/02007 ,  G01B2290/25 ,  G01B2290/60 ,  G01B2290/70 ,  G03F7/70775

摘要： A method for the high-precision measurement of coordinates of at least one structure on a substrate. A stage traversable in X/Y coordinate directions is provided, which is placed in an interferometric-optical measuring system. The structure on the substrate is imaged on at least one detector (34) via a measuring objective (21) having its optical axis (20) aligned in the Z coordinate direction. The structure is imaged with the so-called Dual Scan. Systematic errors can thereby be eliminated.

摘要翻译： 一种用于高精度测量衬底上至少一个结构的坐标的方法。 提供了在X / Y坐标方向上可移动的平台，其被放置在干涉光学测量系统中。 通过其光轴（20）在Z坐标方向上排列的测量物镜（21）将基板上的结构成像在至少一个检测器（34）上。 该结构用所谓的双扫描成像。 因此可以消除系统错误。