公开(公告)号：US5831181A

公开(公告)日：1998-11-03

申请号：US536419

申请日：1995-09-29

申请人： Arun Majumdar ,  Mohammed Dahleh ,  James Samir Ismail

发明人： Arun Majumdar ,  Mohammed Dahleh ,  James Samir Ismail

IPC分类号： B26D3/08 ,  G01B7/34 ,  G01Q60/00 ,  G03F7/00 ,  H01L21/304

CPC分类号： G01Q10/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y35/00 ,  B82Y40/00 ,  G01Q60/38 ,  G03F7/0002 ,  G01Q80/00 ,  Y10S83/919 ,  Y10S977/856

摘要： A modified Atomic Force Microscope (AFM), which can machine and image the surface of a sample with nanometer precision in all three orthogonal directions by varying the depth-of-cut of the sample. A multi-repetitive sensor system is provided as is a radially halved quartered electrode to substantially maintain parallelism or substantial parallelism.

摘要翻译： 改进的原子力显微镜（AFM），可以通过改变样品的切割深度，在所有三个正交方向上以纳米精度对样品的表面进行加工和成像。 提供了一种多重重复传感器系统，其是径向减半的四极电极，以基本上保持平行度或基本平行度。