公开(公告)号：US3264149A

公开(公告)日：1966-08-02

申请号：US33188163

申请日：1963-12-19

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： BATDORF ROBERT L ,  LEE CHARLES A ,  WILLIAM WIEGMANN

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/288 ,  H01L29/868

CPC classification number: H01L29/868 ,  H01L21/00 ,  H01L21/288

公开(公告)号：US3148085A

公开(公告)日：1964-09-08

申请号：US10274161

申请日：1961-04-13

Applicant: BELL TELEPHONE LABOR INC

Inventor： WILLIAM WIEGMANN

IPC: C23C14/04 ,  H01L21/00 ,  H01L23/482

CPC classification number: H01L21/00 ,  C23C14/042 ,  H01L23/482 ,  H01L2924/0002 ,  Y10S148/028 ,  Y10S148/104 ,  Y10S148/169 ,  Y10S438/944 ,  H01L2924/00