公开(公告)号：US3056073A

公开(公告)日：1962-09-25

申请号：US858960

申请日：1960-02-15

Applicant: CALIFORNIA INST RES FOUND

Inventor： MEAD CARVER A

IPC: H01J1/312 ,  H01L45/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  H01J1/312 ,  H01L45/00 ,  Y10S438/957

公开(公告)号：US3289052A

公开(公告)日：1966-11-29

申请号：US31601363

申请日：1963-10-14

Applicant: CALIFORNIA INST RES FOUND

Inventor： MEAD CARVER A

IPC: H01L21/288 ,  H01L29/00

CPC classification number: H01L21/288 ,  H01L29/00