公开(公告)号：US20120017415A1

公开(公告)日：2012-01-26

申请号：US13239632

申请日：2011-09-22

申请人： Charles P. MARSH ,  Eric OLSON ,  Todor I. DONCHEV ,  Ivan PETROV ,  Jianguo WEN ,  Ryan FRANKS ,  Dongxiang LIAO

发明人： Charles P. MARSH ,  Eric OLSON ,  Todor I. DONCHEV ,  Ivan PETROV ,  Jianguo WEN ,  Ryan FRANKS ,  Dongxiang LIAO

IPC分类号： B23P11/00

CPC分类号： H01J37/26 ,  G02B21/34 ,  H01J37/20 ,  H01J2237/2004 ,  H01J2237/2005 ,  H01J2237/28 ,  Y10T29/49826

摘要： A method for using a reusable sample-holding device for readily loading very small wet samples for observation of the samples by microscopic equipment, in particular in a vacuum environment. The method may be used with a scanning electron microscope (SEM), a transmission electron microscope (TEM), an X-ray microscope, optical microscope, and the like. For observation of the sample, the method provides a thin-membrane window etched in the center of each of two silicon wafers abutting to contain the sample in a small uniform gap formed between the windows. This gap may be adjusted by employing spacers. Alternatively, the thickness of a film established by the fluid in which the sample is incorporated determines the gap without need of a spacer. To optimize resolution each window may have a thickness on the order of 50 nm and the gap may be on the order of 50 nm.

摘要翻译： 一种使用可重复使用的样品保持装置的方法，用于容易地加载非常小的湿样品，以通过微观设备特别是在真空环境中观察样品。 该方法可以用扫描电子显微镜（SEM），透射电子显微镜（TEM），X射线显微镜，光学显微镜等来使用。 为了观察样品，该方法提供了在两个硅晶片的每一个的中心蚀刻的薄膜窗口，其邻接以将样品容纳在窗口之间形成的小的均匀间隙中。 该间隙可以通过使用间隔物来调节。 或者，通过其中包含样品的流体建立的膜的厚度确定了间隙而不需要间隔物。 为了优化分辨率，每个窗口可以具有大约50nm的厚度，并且间隙可以在50nm量级。