公开(公告)号：US20130267045A1

公开(公告)日：2013-10-10

申请号：US13439127

申请日：2012-04-04

申请人： Chih-Tsung LEE ,  Hung Jui CHANG ,  You-Hua CHOU ,  Shiu-Ko JANGJIAN ,  Chung-En KAO ,  Ming-Chin TSAI ,  Huan-Wen LAI

发明人： Chih-Tsung LEE ,  Hung Jui CHANG ,  You-Hua CHOU ,  Shiu-Ko JANGJIAN ,  Chung-En KAO ,  Ming-Chin TSAI ,  Huan-Wen LAI

IPC分类号： H01L21/66 ,  C23C16/50 ,  C23C16/455

CPC分类号： C23C16/4412 ,  C23C16/308 ,  C23C16/5096 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/3244

摘要： An apparatus comprises: a shower head having a supply plenum for supplying the gas to the chamber and a vacuum manifold fluidly coupled to the supply plenum; and at least one vacuum system fluidly coupled to the vacuum manifold of the shower head.

摘要翻译： 一种装置包括：具有用于将气体供应到所述室的供应气室的喷淋头和与所述供应气室流体耦合的真空歧管; 以及至少一个与喷淋头的真空歧管流体耦合的真空系统。