公开(公告)号：US20130079913A1

公开(公告)日：2013-03-28

申请号：US13247792

申请日：2011-09-28

申请人： Chinmay S. Oza ,  William J. Fosnight ,  Jan Rothe ,  John R. Robinson ,  Gabriel Gaxiola

发明人： Chinmay S. Oza ,  William J. Fosnight ,  Jan Rothe ,  John R. Robinson ,  Gabriel Gaxiola

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： H01L21/67276

摘要： A method and system of semiconductor fabrication are provided. In the method, an equipment unit performs a process on substrates to form processed substrates. The equipment unit also communicates processing data to a local scheduler. The local scheduler schedules removal of processed substrates from the equipment unit and delivery of unprocessed substrates to the equipment unit based on the processing data.

摘要翻译： 提供了半导体制造的方法和系统。 在该方法中，设备单元在基板上进行处理以形成经处理的基板。 设备单元还将处理数据传送到本地调度器。 本地调度器基于处理数据调度从设备单元移除经处理的基板并将未处理的基板传送到设备单元。

公开(公告)号：US08047762B2

公开(公告)日：2011-11-01

申请号：US12032857

申请日：2008-02-18

申请人： Olaf Zimmerhackl ,  Alfred Honold ,  Jan Rothe

发明人： Olaf Zimmerhackl ,  Alfred Honold ,  Jan Rothe

IPC分类号： B65G1/00

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

摘要： By providing an overhead buffer system between an automatic transport system and a load port assembly of a process tool, the efficiency of the respective load ports may be significantly enhanced, for instance, by reducing the idle time of empty carriers, thereby providing the potential for covering a wider range of operational scenarios compared to conventional strategies. For instance, for the same number of load ports, the overhead buffer system may provide a continuous operation, even if small lot sizes are used. The buffer system may comprise a dedicated transport mechanism for directly serving the load ports and respective buffer places, while respective transfer places may provide direct interaction with the automated transport system.

摘要翻译： 通过在自动传送系统和处理工具的装载端口组件之间提供开销缓冲系统，可以显着地增强相应负载端口的效率，例如通过减少空载波的空闲时间，从而为 与传统战略相比，涵盖了更广泛的业务场景。 例如，对于相同数量的负载端口，即使使用小批量，开销缓冲系统也可以提供连续的操作。 缓冲系统可以包括用于直接服务负载端口和各个缓冲位置的专用传送机构，而各个传送位置可以提供与自动传送系统的直接交互。

公开(公告)号：US20090035102A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：US12032857

申请日：2008-02-18

申请人： Olaf Zimmerhackl ,  Alfred Honold ,  Jan Rothe

发明人： Olaf Zimmerhackl ,  Alfred Honold ,  Jan Rothe

IPC分类号： H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67276 ,  H01L21/67769 ,  H01L21/67775 ,  Y10S414/14

摘要： By providing an overhead buffer system between an automatic transport system and a load port assembly of a process tool, the efficiency of the respective load ports may be significantly enhanced, for instance, by reducing the idle time of empty carriers, thereby providing the potential for covering a wider range of operational scenarios compared to conventional strategies. For instance, for the same number of load ports, the overhead buffer system may provide a continuous operation, even if small lot sizes are used. The buffer system may comprise a dedicated transport mechanism for directly serving the load ports and respective buffer places, while respective transfer places may provide direct interaction with the automated transport system.

摘要翻译： 通过在自动传送系统和处理工具的装载端口组件之间提供开销缓冲系统，可以显着地增强相应负载端口的效率，例如通过减少空载波的空闲时间，从而为 与传统战略相比，涵盖了更广泛的业务场景。 例如，对于相同数量的负载端口，即使使用小批量，开销缓冲系统也可以提供连续的操作。 缓冲系统可以包括用于直接服务负载端口和各个缓冲位置的专用传送机构，而各个传送位置可以提供与自动传送系统的直接交互。

公开(公告)号：US20080299684A1

公开(公告)日：2008-12-04

申请号：US12016425

申请日：2008-01-18

申请人： Jan Rothe ,  Konrad Rosenbaum

发明人： Jan Rothe ,  Konrad Rosenbaum

IPC分类号： H01L21/02

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/135

摘要： By providing an under-specified specification for designating a destination carrier in a respective control job or control message, a high degree of flexibility in determining the destination of processed substrates may be obtained, thereby also allowing the removal of a source carrier for enhancing load port availability in complex semiconductor facilities.

摘要翻译： 通过提供用于在相应的控制作业或控制消息中指定目的地载波的指定不足的规范，可以获得确定已处理基板的目的地的高度灵活性，从而也可以移除用于增强载荷端口的源载波 复杂半导体设施的可用性。

公开(公告)号：US20070179650A1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：US11548445

申请日：2006-10-11

申请人： Konrad Rosenbaum ,  Jan Rothe

发明人： Konrad Rosenbaum ,  Jan Rothe

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G05B19/409 ,  G05B2219/31455 ,  G05B2219/45031

摘要： By analyzing process messages exchanged between one or more process tools and a remote host system, the status of the communication may be efficiently monitored. The analysis of the respective process messages may allow interpretation of process messages so as to have increased intelligibility, wherein additionally the process messages may be classified in accordance with one or more predefined criteria. Thus, the detection of even subtle communication inefficiencies may be significantly enhanced.

摘要翻译： 通过分析在一个或多个处理工具和远程主机系统之间交换的过程消息，可以有效地监视通信的状态。 各个处理消息的分析可以允许解释过程消息以便具有增加的可懂度，其中额外的过程消息可以根据一个或多个预定义的标准进行分类。 因此，可以显着增强对甚至微妙的通信效率低下的检测。

公开(公告)号：US08275478B2

公开(公告)日：2012-09-25

申请号：US12403632

申请日：2009-03-13

申请人： Diwaskar Adhikari ,  Raymond G. Goss ,  Carmen A. Maxim ,  Jan Rothe

发明人： Diwaskar Adhikari ,  Raymond G. Goss ,  Carmen A. Maxim ,  Jan Rothe

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67763 ,  H01L21/67778

摘要： A method includes designating a plurality of wafers as members of a group. A first subset of the wafers is housed in a first wafer pod and a second subset of the wafers is housed in a second wafer pod. The first wafer pod is routed to a first tool, and at least a first operation is performed on the wafers in the first subset using the first tool. The second wafer pod is routed to a second tool, and the first operation is performed on the wafers in the second subset using the second tool. The wafers in the first and second subsets are consolidated following the performing of the first operation.

摘要翻译： 一种方法包括将多个晶片指定为组的成员。 晶片的第一子集被容纳在第一晶片盒中，并且晶片的第二子集被容纳在第二晶片盒中。 第一晶片盒被路由到第一工具，并且使用第一工具对第一子集中的晶片执行至少第一操作。 第二晶片盒被路由到第二工具，并且使用第二工具在第二子集中的晶片上执行第一操作。 在执行第一操作之后，第一和第二子集中的晶片被合并。

公开(公告)号：US07974726B2

公开(公告)日：2011-07-05

申请号：US12016425

申请日：2008-01-18

申请人： Jan Rothe ,  Konrad Rosenbaum

发明人： Jan Rothe ,  Konrad Rosenbaum

IPC分类号： G06F19/00 ,  G06F7/00 ,  B65H1/00

CPC分类号： H01L21/67294 ,  H01L21/67778 ,  Y10S414/135

摘要： By providing an under-specified specification for designating a destination carrier in a respective control job or control message, a high degree of flexibility in determining the destination of processed substrates may be obtained, thereby also allowing the removal of a source carrier for enhancing load port availability in complex semiconductor facilities.

摘要翻译： 通过提供用于在相应的控制作业或控制消息中指定目的地载波的指定不足的规范，可以获得确定已处理基板的目的地的高度灵活性，从而也可以移除用于增强载荷端口的源载波 复杂半导体设施的可用性。