公开(公告)号：US5492737A

公开(公告)日：1996-02-20

申请号：US244573

申请日：1994-08-01

申请人： Christopher Dobson ,  Adrian Kiermasz ,  Knut Beekmann ,  Christine Shearer ,  Edmond Ling ,  Alan Winn ,  Rob Wilby

发明人： Christopher Dobson ,  Adrian Kiermasz ,  Knut Beekmann ,  Christine Shearer ,  Edmond Ling ,  Alan Winn ,  Rob Wilby

IPC分类号： C23C16/50 ,  C23C16/505 ,  C23C16/509 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32 ,  C23C14/26

CPC分类号： H01J37/32082 ,  C23C16/5096 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32174 ,  H01J37/3299 ,  H01J2237/3328

摘要： A reactor 10 defines a chamber 11 in which are disposed an upper electrode 12 and a lower workpiece electrode 13. The upper electrode is connected to a R.F. supply whilst the lower electrode is connected to a stress control unit 14. The stress control unit is used to adjust or maintain the effective resistance of the connection between the workpiece electrode 13 and ground.

摘要翻译： PCT No.PCT / GB92 / 02238 Sec。 371日期1994年8月1日 102（e）日期1994年8月1日PCT 1992年12月2日PCT PCT。 出版物WO93 / 11276 日期：1993年6月10日。反应器10限定了一个室11，其中设置有上电极12和下工件电极13.上电极连接到R.F. 供电，而下电极连接到应力控制单元14.应力控制单元用于调节或保持工件电极13和地之间的连接的有效电阻。