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    Substrate transport apparatus with automated alignment
    4.
    发明授权
    Substrate transport apparatus with automated alignment 有权
    带自动对准的基板输送装置

    公开(公告)号：US07522267B2

    公开(公告)日：2009-04-21

    申请号：US11485146

    申请日：2006-07-11

    申请人： Christopher Hofmeister ,  Martin Hosek ,  Stuart Beale

    发明人： Christopher Hofmeister ,  Martin Hosek ,  Stuart Beale

    IPC分类号： G03B27/58 ,  G03B27/62

    CPC分类号： H01L21/681 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68707

    摘要： A substrate processing apparatus is provided with a substrate transport apparatus. The transport apparatus is used for automating alignment of the processing apparatus. In one aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to level parts of the processing apparatus. In another aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to determine the locations and angular orientations of substrate stations within a plane. In another aspect, the transport apparatus teaches itself the accurate location of a substrate aligner by repeatedly placing the substrate on the aligner, recording positional data, constructing a cost function, and determining the location of the aligner by minimizing the cost function using a numerical technique.

    摘要翻译： 基板处理装置具有基板输送装置。 运送装置用于使处理装置的对准自动化。 在一个方面，传送装置上的通过光束传感器用于对处理装置的部分进行平坦化。 在另一方面，传送装置上的通过束传感器用于确定在平面内的衬底台的位置和角取向。 另一方面，运输设备通过将衬底重新放置在对准器上来记录衬底对准器的准确位置，记录位置数据，构建成本函数，以及通过使用数字技术最小化成本函数来确定对准器的位置 。

    Substrate transport apparatus with automated alignment
    5.
    发明申请
    Substrate transport apparatus with automated alignment 有权
    带自动对准的基板输送装置

    公开(公告)号：US20070065144A1

    公开(公告)日：2007-03-22

    申请号：US11485146

    申请日：2006-07-11

    申请人： Christopher Hofmeister ,  Martin Hosek ,  Stuart Beale

    发明人： Christopher Hofmeister ,  Martin Hosek ,  Stuart Beale

    IPC分类号： G03D5/00

    CPC分类号： H01L21/681 ,  H01L21/67259 ,  H01L21/68 ,  H01L21/68707

    摘要： A substrate processing apparatus is provided with a substrate transport apparatus. The transport apparatus is used for automating alignment of the processing apparatus. In one aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to level parts of the processing apparatus. In another aspect, a through-beam sensor on the transport apparatus is used to determine the locations and angular orientations of substrate stations within a plane. In another aspect, the transport apparatus teaches itself the accurate location of a substrate aligner by repeatedly placing the substrate on the aligner, recording positional data, constructing a cost function, and determining the location of the aligner by minimizing the cost function using a numerical technique.

    摘要翻译： 基板处理装置具有基板输送装置。 运送装置用于使处理装置的对准自动化。 在一个方面，传送装置上的通过光束传感器用于对处理装置的部分进行平坦化。 在另一方面，传送装置上的通过束传感器用于确定在平面内的衬底台的位置和角取向。 另一方面，运输设备通过将衬底重新放置在对准器上来记录衬底对准器的准确位置，记录位置数据，构建成本函数，以及通过使用数字技术最小化成本函数来确定对准器的位置 。