公开(公告)号：US08668963B2

公开(公告)日：2014-03-11

申请号：US13684686

申请日：2012-11-26

申请人： Commissariat a l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives ,  Centre National de la Recherche Scientifique

发明人： Laurent Bedel ,  Cyril Cayron ,  Michel Jouve ,  Francis Maury ,  Etienne Quesnel

IPC分类号： H05H1/24

CPC分类号： C23C16/50 ,  C23C14/185 ,  C23C14/5826 ,  C23C16/401 ,  C23C16/56 ,  C23C28/027 ,  C23C28/028 ,  C23C30/00

摘要： A method for diffusing metal particles including a composite layer deposited on a substrate, with the composite layer further including at least one dielectric matrix, and where the diffusion of the metal particles towards the substrate is achieved by means of a plasma treatment.

摘要翻译： 一种用于扩散包括沉积在基底上的复合层的金属颗粒的方法，其中复合层还包括至少一个电介质基质，并且其中通过等离子体处理实现金属颗粒向衬底的扩散。