公开(公告)号：US07466404B1

公开(公告)日：2008-12-16

申请号：US11145388

申请日：2005-06-03

申请人： Dan Vacar ,  David K. McElfresh ,  Leoncio D. Lopez ,  Robert Melanson

发明人： Dan Vacar ,  David K. McElfresh ,  Leoncio D. Lopez ,  Robert Melanson

IPC分类号： G01N21/00

CPC分类号： H01S5/0021 ,  G01R31/2635 ,  H01S5/18311

摘要： A method for testing a substrate by using a photoemission microscope is provided which includes providing the substrate and applying a reverse bias voltage to the substrate. The method further includes detecting light emissions from a top surface of the substrate and characterizing viability of the substrate from the detection of the light emissions.

摘要翻译： 提供一种通过使用光电显微镜测试基板的方法，其包括提供基板并向基板施加反向偏置电压。 该方法还包括检测来自衬底的顶表面的光发射，并且从光发射的检测来表征衬底的可行性。