公开(公告)号：US20090211690A1

公开(公告)日：2009-08-27

申请号：US11887803

申请日：2006-04-07

申请人： Daniel A. Bartholomeusz ,  Ameya Kantak ,  Sung Lee ,  Merugu Srinivas ,  Himanshu Sant ,  Ronald W. Boutte ,  Bruce Gale ,  Charles Thomas

发明人： Daniel A. Bartholomeusz ,  Ameya Kantak ,  Sung Lee ,  Merugu Srinivas ,  Himanshu Sant ,  Ronald W. Boutte ,  Bruce Gale ,  Charles Thomas

IPC分类号： B32B38/10 ,  C23C16/44 ,  C23C14/34 ,  C25D5/02 ,  B29C33/40 ,  B32B38/00 ,  G05B15/00 ,  B26D7/10 ,  B26D7/12

CPC分类号： B32B38/10 ,  B26D7/10 ,  B26D7/2628 ,  B26F1/24 ,  B26F1/3806 ,  B26F2001/3893 ,  B29C64/141 ,  B81B2201/058 ,  B81C99/009 ,  B81C2201/019 ,  Y10T83/293 ,  Y10T83/303

摘要： A method for making a microstructure includes: providing a film (100) on a release liner (110); feeding the film through a cutting plotter (10); cutting the film with a knife blade (34) of the cutting plotter to form a microstructure pattern; peeling the microstructure pattern from the release liner; and transferring the microstructure pattern to a substrate (170). The cutting plotter for making microstructures includes a knife head with a knife blade disposed adjacent a feed mechanism (20), a motor (42) and control system coupled to the knife head for selectively moving the knife head in relation to the film, and the control system and the knife head having an addressable positioning resolution less than approximately 10 μm.

摘要翻译： 制造微结构的方法包括：在剥离衬垫（110）上提供膜（100）; 通过切割机（10）将胶片进给; 用切割机的刀片（34）切割薄膜以形成微结构图案; 从分离衬片剥离微结构图案; 并将微结构图案转移到基板（170）。 用于制造微结构的切割机包括具有邻近进给机构（20）设置的刀片的刀头，马达（42）和耦合到刀头的控制系统，用于相对于薄膜选择性地移动刀头， 控制系统和刀头具有小于约10um的可寻址定位分辨率。

公开(公告)号：US20120247642A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13308231

申请日：2011-11-30

申请人： Daniel A. Bartholomeusz ,  Ameya Kantak ,  Sung Lee ,  Srinivas Merugu ,  Himanshu Sant ,  Ronald W. Boutte ,  Bruce K. Gale ,  Charles Thomas ,  Brenda Marie Thomas

发明人： Daniel A. Bartholomeusz ,  Ameya Kantak ,  Sung Lee ,  Srinivas Merugu ,  Himanshu Sant ,  Ronald W. Boutte ,  Bruce K. Gale ,  Charles Thomas ,  Brenda Marie Thomas

IPC分类号： B32B38/10 ,  B32B37/02

CPC分类号： B32B38/10 ,  B26D7/10 ,  B26D7/2628 ,  B26F1/24 ,  B26F1/3806 ,  B26F2001/3893 ,  B29C64/141 ,  B81B2201/058 ,  B81C99/009 ,  B81C2201/019 ,  Y10T83/293 ,  Y10T83/303

摘要： A method for making a microstructure includes: providing a film (100) on a release liner (110); feeding the film through a cutting plotter (10); cutting the film with a knife blade (34) of the cutting plotter to form a microstructure pattern; peeling the microstructure pattern from the release liner; and transferring the microstructure pattern to a substrate (170). The cutting plotter for making microstructures includes a knife head with a knife blade disposed adjacent a feed mechanism (20), a motor (42) and control system coupled to the knife head for selectively moving the knife head in relation to the film, and the control system and the knife head having an addressable positioning resolution less than approximately 10 μm.

摘要翻译： 制造微结构的方法包括：在剥离衬垫（110）上提供膜（100）; 通过切割机（10）将胶片进给; 用切割机的刀片（34）切割薄膜以形成微结构图案; 从分离衬片剥离微结构图案; 并将微结构图案转移到基板（170）。 用于制造微结构的切割机包括具有邻近进给机构（20）设置的刀片的刀头，马达（42）和耦合到刀头的控制系统，用于相对于薄膜选择性地移动刀头， 控制系统和刀头具有小于约10μm的可寻址定位分辨率。

公开(公告)号：US08421305B2

公开(公告)日：2013-04-16

申请号：US12596091

申请日：2008-04-17

申请人： Ian R. Harvey ,  Taylor M. Meacham ,  Ronald W. Boutte ,  Brian Baker ,  Iain E. Harvey

发明人： Ian R. Harvey ,  Taylor M. Meacham ,  Ronald W. Boutte ,  Brian Baker ,  Iain E. Harvey

IPC分类号： H02N1/00

CPC分类号： B81B3/0029 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0118 ,  H01H59/0009

摘要： A microelectromechanical system (MEMS) device includes an actuator having a plurality of charge collection elements. At least one of the charge collection elements is configured to build up electrical charges by directly interacting with an energy field thereby actuating the MEMS through Coulombic interactions. An actuator for a MEMS device is configured to actuate the MEMS device through Coulombic interactions by pumping charges to the actuator when subject to an energy field. A method of actuating a MEMS device includes irradiating an actuator of the MEMS device with an energy field thereby building up electrical charges on the actuator, and actuating the MEMS device with Coulomb forces from the built up electrical charges.

摘要翻译： 微机电系统（MEMS）装置包括具有多个电荷收集元件的致动器。 电荷收集元件中的至少一个被配置为通过与能量场直接相互作用来建立电荷，从而通过库仑相互作用来致动MEMS。 用于MEMS器件的致动器被配置为当经受能量场时将电荷泵送到致动器，通过库仑相互作用来致动MEMS器件。 致动MEMS器件的方法包括用能量场照射MEMS器件的致动器，从而在致动器上建立电荷，并且利用来自建立的电荷的库仑力来致动MEMS器件。

公开(公告)号：US20100194237A1

公开(公告)日：2010-08-05

申请号：US12596091

申请日：2008-04-17

申请人： Ian R. Harvey ,  Taylor M. Meacham ,  Ronald W. Boutte ,  Brian W. Baker ,  Iain E. Harvey

发明人： Ian R. Harvey ,  Taylor M. Meacham ,  Ronald W. Boutte ,  Brian W. Baker ,  Iain E. Harvey

IPC分类号： H02N1/08 ,  H01J37/28 ,  B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0029 ,  B81B2201/038 ,  B81B2203/0118 ,  H01H59/0009

摘要： A microelectromechanical system (MEMS) device includes an actuator having a plurality of charge collection elements. At least one of the charge collection elements is configured to build up electrical charges by directly interacting with an energy field thereby actuating the MEMS through Coulombic interactions. An actuator for a MEMS device is configured to actuate the MEMS device through Coulombic interactions by pumping charges to the actuator when subject to an energy field. A method of actuating a MEMS device includes irradiating an actuator of the MEMS device with an energy field thereby building up electrical charges on the actuator, and actuating the MEMS device with Coulomb forces from the built up electrical charges.

摘要翻译： 微机电系统（MEMS）装置包括具有多个电荷收集元件的致动器。 电荷收集元件中的至少一个被配置为通过与能量场直接相互作用来建立电荷，从而通过库仑相互作用来致动MEMS。 用于MEMS器件的致动器被配置为当经受能量场时将电荷泵送到致动器，通过库仑相互作用来致动MEMS器件。 致动MEMS器件的方法包括用能量场照射MEMS器件的致动器，从而在致动器上建立电荷，并且利用来自建立的电荷的库仑力来致动MEMS器件。