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公开(公告)号：US06313013B1
公开(公告)日：2001-11-06
申请号：US09410623
申请日：1999-10-01
申请人： Dirk Flottmann , Gerhard Ast , Reinhard Wolf
发明人： Dirk Flottmann , Gerhard Ast , Reinhard Wolf
IPC分类号： H01L21322
摘要： There are a device and method for protecting semiconductor material, wherein semiconductor material is processed on a surface of stabilized ice made from ultrapure water and particles of semiconductor material.
摘要翻译： 存在用于保护半导体材料的装置和方法，其中半导体材料在由超纯水和半导体材料颗粒制成的稳定的冰的表面上被加工。
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公开(公告)号：US6073773A
公开(公告)日：2000-06-13
申请号：US410339
申请日：1999-10-01
申请人： Reinhard Wolf , Dirk Flottmann
发明人： Reinhard Wolf , Dirk Flottmann
CPC分类号： C01B33/02 , B07B1/00 , B07B1/4609
摘要： A method and a device for the separation of semiconductor material has the separation procedure carried out on screens coated with ice made of ultrapure water, optionally mixed with particles of semiconductor material. During the separation, the screens are sprayed with ultrapure water and the screen holes are cut free.
摘要翻译： 用于分离半导体材料的方法和装置具有在涂覆有由超纯水制成的冰的屏幕上进行的分离过程，任选地与半导体材料的颗粒混合。 在分离过程中，筛网用超纯水喷洒，筛孔无切割。
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公开(公告)号：US6063697A
公开(公告)日：2000-05-16
申请号：US52661
申请日：1998-03-31
申请人： Reinhard Wolf , Dirk Flottmann , Matthaus Schantz
发明人： Reinhard Wolf , Dirk Flottmann , Matthaus Schantz
IPC分类号： F25C1/12 , B07B1/00 , B07B1/46 , B28D5/00 , C01B33/02 , C01B33/037 , H01L21/02 , H01L21/322 , H01L21/00
CPC分类号： B28D5/00 , B07B1/00 , B07B1/4609 , B28D5/0082
摘要： A device for protecting semiconductor material includes a support and a surface made of ice formed from ultrapure water. Semiconductor material is situated on this support surface.
摘要翻译： 用于保护半导体材料的装置包括由超纯水形成的支撑体和由冰制成的表面。 半导体材料位于该支撑表面上。
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公开(公告)号：US06265683B1
公开(公告)日：2001-07-24
申请号：US09388207
申请日：1999-09-01
申请人： Dirk Flottmann , Karl Hesse , Matthäus Schantz
发明人： Dirk Flottmann , Karl Hesse , Matthäus Schantz
IPC分类号： B07C500
CPC分类号： B07C5/10 , B07C5/366 , C30B15/02 , Y10S209/939
摘要： A device for the optoelectronic classification of semiconductor materials, which has an identifying device 6 that forwards the morphology of the product 1 to be classified to an evaluating device 7 which evaluates the data.
摘要翻译： 用于半导体材料的光电子分类的装置，其具有将要分类的产品1的形态转发到评估数据的评估装置7的识别装置6。
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公开(公告)号：US06260712B1
公开(公告)日：2001-07-17
申请号：US09378039
申请日：1999-08-20
申请人： Dirk Flottmann , Matthäus Schantz , Johann Heiss
发明人： Dirk Flottmann , Matthäus Schantz , Johann Heiss
IPC分类号： B07C500
CPC分类号： C01B33/02 , B07B4/02 , Y10S209/932
摘要： A separation device which has at least one blower device and at least one deflector device can be used to separate large fragments of semiconductor material from small fragments of semiconductor material.
摘要翻译： 具有至少一个送风装置和至少一个偏转装置的分离装置可以用于从半导体材料的小碎片分离出半导体材料的大碎片。
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公开(公告)号：US06375011B1
公开(公告)日：2002-04-23
申请号：US09537208
申请日：2000-03-29
IPC分类号： B07B128
摘要： A method for conveying silicon fragments has the silicon fragments being conveyed over a conveyor surface, which is made from hyperpure silicon. There is a vibrating conveyor, and during the conveying, the sharp edges of the silicon fragments are rounded and mechanical-physical decontamination takes place. The vibrating conveyor has a conveyor surface which is made from hyperpure silicon. A second vibrating conveyor unit has a conveyor surface which is made from hyperpure silicon and has passage openings therethrough.
摘要翻译： 用于输送硅碎片的方法具有硅碎片在由超纯硅制成的输送机表面上输送。 有一个振动输送机，在输送过程中，硅碎片的锋利边缘是圆形的，并发生机械物理去污。 振动输送机具有由超纯硅制成的输送机表面。 第二振动输送单元具有由超纯硅制成并具有通过开口的输送表面。
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公开(公告)号：US6040544A
公开(公告)日：2000-03-21
申请号：US75033
申请日：1998-05-08
申请人： Matthaus Schantz , Franz Koppl , Dirk Flottmann
发明人： Matthaus Schantz , Franz Koppl , Dirk Flottmann
摘要： An apparatus for the optoelectronic classification of semiconductor materials, has a separating device 2 and a slide face 3, the angle of the slide face 3 to the horizontal being adjustable, and the separating device 2 and the slide face 3 each having a surface made of the semiconductor material to be separated. There is a radiation source 5, through the beam path of which the material to be classified falls, and a shape recognition device 6, which transmits the shape of the material to be classified to a control unit 7, which controls at least one diverter device 8.
摘要翻译： 用于半导体材料的光电子分类的装置具有分离装置2和滑动面3，滑动面3与水平面的角度是可调节的，分离装置2和滑动面3各自具有由 待分离的半导体材料。 存在辐射源5，通过待分类材料的光束路径落下，以及将要分类的材料的形状传送到控制单元7的形状识别装置6，控制单元7控制至少一个分流装置 8。
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公开(公告)号：US06360755B1
公开(公告)日：2002-03-26
申请号：US09362462
申请日：1999-07-28
申请人： Matthäus Schantz , Dirk Flottmann
发明人： Matthäus Schantz , Dirk Flottmann
IPC分类号： C25F330
CPC分类号： B28D5/0005 , B02C19/18 , B02C2019/183
摘要： A method is for processing semiconductor material, in which one or more shock waves generated using a transducer are transmitted through a liquid medium to semiconductor material in rod form. The transducer is at a distance of from 1 cm to 100 cm from the semiconductor material, and the shock waves have a pulse energy of from 1 to 20 kJ and a pulse rise time to the energy maximum of from 1 to 5 &mgr;s.
摘要翻译： 一种用于处理半导体材料的方法，其中使用换能器产生的一个或多个冲击波通过液体介质以棒状传输到半导体材料。 传感器与半导体材料距离为1厘米至100厘米，冲击波的脉冲能量为1至20千焦耳，脉冲上升时间达到1至5微秒的最大能量。
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