公开(公告)号：US20090237634A1

公开(公告)日：2009-09-24

申请号：US12392852

申请日：2009-02-25

申请人： Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscus VAN DER PASCH ,  Robbert Edgar VAN LEEUWEN ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS

发明人： Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscus VAN DER PASCH ,  Robbert Edgar VAN LEEUWEN ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS

IPC分类号： G03B27/54 ,  G01B11/14 ,  G06F19/00

CPC分类号： G03B27/54 ,  G01D5/24461 ,  G01D5/347 ,  G03F7/70775

摘要： An encoder-type measurement system is configured to measure a position dependent signal of a movable object. The measurement system includes a light source and a sensor. The light source and the sensor are mounted on one of the movable object or a substantially stationary frame. The measurement system also includes a reference object that includes a grating or grid mounted on the other of the movable object or the substantially stationary frame. The light source is configured to emit a light beam towards the reference object. The sensor is configured to detect light of the light source reflected by the reference object. The measurement system also includes an error detector capable of detecting errors in or on the grating or grid of the sensor target object during a continuous production process.

摘要翻译： 编码器型测量系统被配置为测量可移动物体的位置相关信号。 测量系统包括光源和传感器。 光源和传感器安装在可移动物体之一或基本上固定的框架上。 测量系统还包括参考对象，其包括安装在可移动物体或基本上固定的框架上的另一个上的光栅或栅格。 光源被配置为朝向参考对象发射光束。 传感器被配置为检测由参考对象反射的光源的光。 该测量系统还包括能够在连续生产过程中检测传感器目标物体的光栅或格栅上的误差的误差检测器。

公开(公告)号：US20100007867A1

公开(公告)日：2010-01-14

申请号：US12367193

申请日：2009-02-06

申请人： Marinus Aart VAN DEN BRINK ,  Hans BUTLER ,  Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscu VAN DER PASCH ,  Marc Wilhelmus Maria VAN DER WIJST ,  Georgo ANGELIS ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS ,  Boudewijn Theodorus VERHAAR ,  Peter HOEKSTRA

发明人： Marinus Aart VAN DEN BRINK ,  Hans BUTLER ,  Emiel Jozef Melanie EUSSEN ,  Engelbertus Antonius Fransiscu VAN DER PASCH ,  Marc Wilhelmus Maria VAN DER WIJST ,  Georgo ANGELIS ,  Renatus Gerardus KLAVER ,  Martijn Robert HAMERS ,  Boudewijn Theodorus VERHAAR ,  Peter HOEKSTRA

IPC分类号： G03B27/58 ,  G03B27/32

CPC分类号： G03F7/70775 ,  G03F7/70516

摘要： In an embodiment, a stage system calibration method includes moving the stage relative to an encoder grid in response to a setpoint signal and measuring a position of the stage by a sensor head cooperating with the encoder grid. The position of the stage is controlled by a stage controller. A signal representative of a difference between the setpoint signal and the position of the stage as measured by the sensor head is registered. The stage system is calibrated from the registered signal representative of the difference.

摘要翻译： 在一个实施例中，舞台系统校准方法包括响应于设定点信号相对于编码器网格移动舞台，并通过与编码器网格协作的传感器头测量舞台的位置。 舞台的位置由舞台控制器控制。 记录表示由传感器头测量的设定点信号和台的位置之间的差异的信号。 舞台系统根据代表差异的注册信号进行校准。

公开(公告)号：US20100053586A1

公开(公告)日：2010-03-04

申请号：US12615685

申请日：2009-11-10

申请人： Renatus Gerardus KLAVER ,  Erik Roelof Loopstra ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch

发明人： Renatus Gerardus KLAVER ,  Erik Roelof Loopstra ,  Engelbertus Antonius Fransiscus Van Der Pasch

IPC分类号： G01B11/14 ,  G03B27/58

CPC分类号： G01D5/38 ,  G03F7/70775

摘要： A displacement measurement system configured to provide measurement of the relative displacement of two components in six degrees of freedom with improved consistency and without requiring excessive space.

摘要翻译： 位移测量系统，被配置为提供六个自由度中的两个部件的相对位移的测量，具有改进的一致性并且不需要过多的空间。