公开(公告)号：US08134278B2

公开(公告)日：2012-03-13

申请号：US12700307

申请日：2010-02-04

申请人： Eun Chol Cho ,  Hun Joo Lee ,  Soo Suk Lee

发明人： Eun Chol Cho ,  Hun Joo Lee ,  Soo Suk Lee

IPC分类号： H01L41/08

CPC分类号： H01L41/1132 ,  G01L1/165 ,  G01L9/0025 ,  G01N29/022 ,  G01N2291/0256 ,  G01N2291/0423

摘要： A surface acoustic wave device, including: a piezoelectric substrate; an interdigitated transducer electrode disposed on the substrate; an oxide film disposed on surface of the interdigitated transducer electrode; and a hydrophobic film disposed on a surface of the oxide film.

摘要翻译： 一种表面声波装置，包括：压电基板; 设置在所述基板上的叉指传感器电极; 设置在交叉换能器电极的表面上的氧化膜; 以及设置在氧化物膜的表面上的疏水性膜。