公开(公告)号：US3121852A

公开(公告)日：1964-02-18

申请号：US2303860

申请日：1960-04-18

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： BOYD DAVID R ,  SIHVONEN YRO T ,  WOELKE CALVIN D

IPC: C23C14/00 ,  H01L21/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/1884 ,  C23C14/0036 ,  H01L21/00 ,  Y02E10/50

公开(公告)号：US3235476A

公开(公告)日：1966-02-15

申请号：US26612463

申请日：1963-02-21

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： BOYD DAVID R ,  SIHVONEN YRO T ,  WOELKE CALVIN D

IPC: C23C14/00 ,  H01L21/00 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/1884 ,  C23C14/0036 ,  H01L21/00 ,  Y02E10/50

公开(公告)号：US3073011A

公开(公告)日：1963-01-15

申请号：US72503658

申请日：1958-03-31

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： BOYD DAVID R ,  SIHVONEN YRO T

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/24

CPC classification number: H01L21/00 ,  H01L21/24