公开(公告)号：US3338741A

公开(公告)日：1967-08-29

申请号：US32182363

申请日：1963-11-06

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： SEYMOUR KATZ

IPC: C23C18/34

CPC classification number: C23C18/34

公开(公告)号：US3336160A

公开(公告)日：1967-08-15

申请号：US32181963

申请日：1963-11-06

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： SEYMOUR KATZ ,  MILLER EDWIN J

IPC: C23C18/34 ,  H01L21/00 ,  H01L21/288

CPC classification number: H01L21/288 ,  C23C18/34 ,  H01L21/00 ,  Y10S428/935 ,  Y10T428/12674 ,  Y10T428/12944

公开(公告)号：US3338740A

公开(公告)日：1967-08-29

申请号：US32182163

申请日：1963-11-06

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： SEYMOUR KATZ

IPC: C23C18/34

CPC classification number: C23C18/34

公开(公告)号：US3348969A

公开(公告)日：1967-10-24

申请号：US32182263

申请日：1963-11-06

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： SEYMOUR KATZ

IPC: C23C18/34

CPC classification number: C23C18/34

公开(公告)号：US3253458A

公开(公告)日：1966-05-31

申请号：US32890363

申请日：1963-12-09

Applicant: GEN MOTORS CORP

Inventor： SEYMOUR KATZ ,  FERRERO RICHARD R

IPC: G01N27/22

CPC classification number: G01N27/225