公开(公告)号：US20170045722A1

公开(公告)日：2017-02-16

申请号：US15304632

申请日：2015-04-17

申请人： HORIBA JOBIN YVON SAS

发明人： Emmanuel FRETEL ,  Damien ANDREZEJEUSKY ,  Rene BOIDIN ,  Philippe DE BETTIGNIES

IPC分类号： G02B21/00 ,  G02B26/10 ,  G01N21/65

CPC分类号： G02B21/0048 ,  G01J3/06 ,  G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  G01N2021/656 ,  G02B21/0032 ,  G02B21/0076 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

摘要： An optical beam scanning microscopy apparatus includes a light source adapted to emit an optical beam (2) and a microscope objective (1) adapted for focusing the optical beam (2) in an object plane (11). The microscopy apparatus includes first and second reflecting optical elements (M-X1, M-X2) disposed in series on the optical path of the optical beam (2) between the light source and the microscope objective (1), first elements of angular tilting (21, 25) adapted for tilting the first reflecting optical elements (M-X1, M-XY1) according to a first predetermined rotation angle (RX1), and second elements of angular tilting (22, 26) adapted for tilting the second reflecting optical elements (M-X2, M-XY2) according to a second rotation angle (RX2), in such a way as to angularly tilt the axis (12) of the optical beam (2) by pivoting about the center (O) of the pupil of the microscope objective (1).

摘要翻译： 光束扫描显微镜装置包括适于发射光束（2）的光源和适于将光束（2）聚焦在物平面（11）中的显微镜物镜（1）。 显微镜装置包括在光源和显微镜物镜（1）之间的光束（2）的光路上串联布置的第一和第二反射光学元件（M-X1，M-X2），第一和第二反射光学元件 （21,25），其适于使第一反射光学元件（M-X1，M-XY1）根据第一预定旋转角度（RX1）倾斜;以及第二角度倾斜元件（22,26），其适于倾斜第二反射 根据第二旋转角度（RX2）的光学元件（M-X2，M-XY2），以通过围绕中心（O）枢转来使光束（2）的轴线（12）成角度地倾斜的方式 显微镜物镜（1）的瞳孔。