公开(公告)号：US20130011581A1

公开(公告)日：2013-01-10

申请号：US13535844

申请日：2012-06-28

申请人： Barbara Müller ,  Heinz KRAUS ,  Elmar MONZ ,  Mikhail SOFIN

发明人： Barbara Müller ,  Heinz KRAUS ,  Elmar MONZ ,  Mikhail SOFIN

IPC分类号： B05C13/02 ,  C23C16/24

CPC分类号： H01J37/32477 ,  C01B33/035 ,  C23C16/4401 ,  C23C16/46 ,  H01J37/32559

摘要： A device for protecting electrode holders in CVD reactors includes an electrode suitable for accommodating a filament rod on an electrode holder which includes an electrically conductive material and is installed in a recess of a bottom plate, wherein an intermediate space between an electrode holder and a bottom plate is sealed by means of a sealing material, and the sealing material is protected by a protective body which is made up of one or more parts and is arranged in a ring-like manner around the electrodes, and the height of the protective body increases at least in sections in the direction of the electrode holder.

摘要翻译： 用于保护CVD反应器中的电极保持器的装置包括一个适用于容纳长丝棒的电极，该电极夹持器包括导电材料并安装在底板的凹槽中，其中电极座和底部之间的中间空间 板通过密封材料密封，并且密封材料由一个或多个部件构成的保护体保护，并且围绕电极以环状布置，并且保护体的高度增加 至少在电极保持器的方向上的部分。

公开(公告)号：US20110229658A1

公开(公告)日：2011-09-22

申请号：US13044107

申请日：2011-03-09

申请人： Heinz KRAUS ,  Mikhail SOFIN

发明人： Heinz KRAUS ,  Mikhail SOFIN

IPC分类号： C23C16/24 ,  H05B3/10 ,  C23C16/458 ,  C23C16/46

CPC分类号： C01B33/035 ,  H01M4/96

摘要： The present invention relates to an electrode composed of carbon having at least two different zones, wherein an outer zone (A) forms the base of the electrode and carries one or more inner zones, wherein the innermost zone (B) projects from the zone (A) at the top and has a lower specific thermal conductivity than zone (A).

摘要翻译： 本发明涉及由具有至少两个不同区域的碳组成的电极，其中外部区域（A）形成电极的基底并且承载一个或多个内部区域，其中最内部区域（B）从该区域突出（ A），并且具有比区（A）低的比热导率。

公开(公告)号：US20110226628A1

公开(公告)日：2011-09-22

申请号：US13032816

申请日：2011-02-23

申请人： Heinz KRAUS

发明人： Heinz KRAUS

IPC分类号： C25B11/12 ,  C25D7/12

CPC分类号： C25B11/12 ,  C01B33/035 ,  C25B1/006

摘要： The present invention relates to a carbon electrode having a conical or pyramidal tip, wherein the tip is surrounded on its side by a raised edge.

摘要翻译： 本发明涉及具有圆锥形或金字塔形尖端的碳电极，其中尖端在其侧面被凸起的边缘包围。

公开(公告)号：US20120100302A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13267111

申请日：2011-10-06

申请人： Laszlo FABRY ,  Thomas ALTMANN ,  Heinz KRAUS

发明人： Laszlo FABRY ,  Thomas ALTMANN ,  Heinz KRAUS

IPC分类号： B05D3/10

CPC分类号： C01B33/035

摘要： The invention relates to a method for producing polycrystalline silicon rods by deposition of silicon on at least one thin rod in a reactor, wherein, before the silicon deposition, hydrogen halide at a temperature of 400-1000° C. is introduced into the reactor containing at least one thin rod and is irradiated by means of UV light, as a result of which halogen and hydrogen radicals arise and the volatile halides that form are removed from the reactor.

摘要翻译： 本发明涉及通过在反应器中的至少一个细棒上沉积硅来生产多晶硅棒的方法，其中在硅淀积之前，将400-1000℃温度下的卤化氢引入含有 至少一根细杆并通过紫外光照射，结果发生卤素和氢根，形成的挥发性卤化物从反应器中除去。

公开(公告)号：US20110229717A1

公开(公告)日：2011-09-22

申请号：US13033237

申请日：2011-02-23

申请人： Heinz KRAUS

发明人： Heinz KRAUS

IPC分类号： B32B9/00 ,  H01L21/20

CPC分类号： C23C16/4418 ,  C01B33/035 ,  C23C16/24 ,  Y10T428/2933

摘要： The invention relates to a method for producing polycrystalline silicon rods by deposition from the gas phase on a thin rod, wherein one or a plurality of disks consisting of a material having a lower electrical resistivity than the polycrystalline silicon under deposition conditions are introduced above the electrodes and/or below the bridge of the rod pair.

摘要翻译： 本发明涉及一种通过从气相沉积在细棒上制造多晶硅棒的方法，其中在沉积条件下将由具有比多晶硅低的电阻率的材料组成的一个或多个盘导入电极 和/或在杆对的桥下方。