公开(公告)号：US07649635B2

公开(公告)日：2010-01-19

申请号：US11907571

申请日：2007-10-15

申请人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Joannes Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

发明人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Joannes Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G03F9/7034 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019

摘要： A method according to one embodiment of the invention includes determining a map of a second part of a substrate belonging to a group of substrates. The method includes measuring a first part of at least one substrate belonging to the group to create an average profile map or average height map and computing a map of the second part of the substrate belonging to the group, based on the average profile map or the average height map. The computed map is stored for use during a later determination of a height or tilt of a substrate from the group.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的方法包括确定属于一组基底的基底的第二部分的图。 该方法包括测量属于该组的至少一个底物的第一部分，以创建平均轮廓图或平均高度图，并基于平均轮廓图或计算属于该组的基底的第二部分的图 平均高度图。 计算的地图被存储以便在稍后确定来自该组的基底的高度或倾斜度期间使用。

公开(公告)号：US07292351B2

公开(公告)日：2007-11-06

申请号：US11013202

申请日：2004-12-16

申请人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Joannes Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

发明人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Joannes Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

IPC分类号： G01B11/24

CPC分类号： G03F9/7034 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019

摘要： A method according to one embodiment of the invention includes determining a map of a second part of a substrate belonging to a group of substrates. The method includes measuring a first part of at least one substrate belonging to the group to create an average profile map or average height map and computing a map of the second part of the substrate belonging to the group, based on the average profile map or the average height map. The computed map is stored for use during a later determination of a height or tilt of a substrate from the group.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的方法包括确定属于一组基底的基底的第二部分的图。 该方法包括测量属于该组的至少一个底物的第一部分，以创建平均轮廓图或平均高度图，并基于平均轮廓图或计算属于该组的基底的第二部分的图 平均高度图。 计算的地图被存储以便在稍后确定来自该组的基底的高度或倾斜度期间使用。

公开(公告)号：US20050186483A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US11013202

申请日：2004-12-16

申请人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

发明人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Emile Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Martinus Van Alphen

IPC分类号： H01L21/027 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01R31/26 ,  G03F9/00 ,  H01L21/336

CPC分类号： G03F9/7034 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019

摘要： A method according to one embodiment of the invention includes determining a map of a second part of a substrate belonging to a group of substrates. The method includes measuring a first part of at least one substrate belonging to the group to create an average profile map or average height map and computing a map of the second part of the substrate belonging to the group, based on the average profile map or the average height map. The computed map is stored for use during a later determination of a height or tilt of a substrate from the group.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的方法包括确定属于一组基底的基底的第二部分的图。 该方法包括测量属于该组的至少一个底物的第一部分，以创建平均轮廓图或平均高度图，并基于平均轮廓图或计算属于该组的基底的第二部分的图 平均高度图。 计算的地图被存储以便在稍后确定来自该组的基底的高度或倾斜度期间使用。

公开(公告)号：US20050134865A1

公开(公告)日：2005-06-23

申请号：US10736987

申请日：2003-12-17

申请人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Alphen

发明人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin Jules Marie-Emile Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Antonius Alphen

IPC分类号： H01L21/027 ,  G01B11/24 ,  G01B11/30 ,  G01R31/26 ,  G03F9/00 ,  H01L21/336

CPC分类号： G03F9/7034 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019

摘要： A method according to one embodiment of the invention includes determining a map of a first part of a substrate belonging to a group of substrates. The method includes measuring a second part of at least one substrate belonging to the group, the second part being at least partially overlapping with the first part; computing a map (e.g. an average profile map or average height map) of the first part of the substrate belonging to the group, based on the second part; and storing the computed map, e.g. for use during a later determination of a height or tilt of a substrate from the group.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的方法包括确定属于一组基底的基底的第一部分的图。 该方法包括测量属于该组的至少一个基板的第二部分，第二部分至少部分地与第一部分重叠; 基于第二部分计算属于该组的基板的第一部分的图（例如，平均轮廓图或平均高度图）; 并存储所计算的图。 用于在稍后确定来自该组的基底的高度或倾斜度时使用。

公开(公告)号：US20080046183A1

公开(公告)日：2008-02-21

申请号：US11907571

申请日：2007-10-15

申请人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Van Alphen

发明人： Hielke Schoonewelle ,  Marcus Boonman ,  Ralph Brinkhof ,  Martin De Nivelle ,  Jan Stoeten ,  Erwin Van Alphen

IPC分类号： G06F19/00

CPC分类号： G03F9/7034 ,  G03F9/7011 ,  G03F9/7019

摘要： A method according to one embodiment of the invention includes determining a map of a second part of a substrate belonging to a group of substrates. The method includes measuring a first part of at least one substrate belonging to the group to create an average profile map or average height map and computing a map of the second part of the substrate belonging to the group, based on the average profile map or the average height map. The computed map is stored for use during a later determination of a height or tilt of a substrate from the group.

摘要翻译： 根据本发明的一个实施例的方法包括确定属于一组基底的基底的第二部分的图。 该方法包括测量属于该组的至少一个底物的第一部分，以创建平均轮廓图或平均高度图，并基于平均轮廓图或计算属于该组的基底的第二部分的图 平均高度图。 计算的地图被存储以便在稍后确定来自该组的基底的高度或倾斜度期间使用。