公开(公告)号：US20130098145A1

公开(公告)日：2013-04-25

申请号：US13688034

申请日：2012-11-28

申请人： Hysitron Incorporated

发明人： Yunje Oh ,  Ryan Major ,  Douglas Stauffer ,  Syed Amanula Syed Asif

IPC分类号： G01N3/42

CPC分类号： G01N3/42 ,  B82Y35/00 ,  G01N2203/0051 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0617 ,  G01Q60/366

摘要： A system and method of measuring an interaction force is disclosed. One embodiment includes providing a method of measuring an interaction force including providing a microelectromechanical transducer. The transducer includes a body, a probe moveable relative to the body, and a micromachined comb drive. The micromachined comb drive includes a differential capacitive displacement sensor to provide a sensor output signal representative of an interaction force on the probe. The probe is moved relative to a sample surface. An interaction force is determined between the probe and the sample surface using the sensor output, as the probe is moved relative to the sample surface.

摘要翻译： 公开了一种测量相互作用力的系统和方法。 一个实施例包括提供测量相互作用力的方法，包括提供微机电换能器。 换能器包括主体，可相对于主体移动的探头以及微机械梳状驱动器。 微加工梳状驱动器包括差分电容位移传感器，以提供表示探针上的相互作用力的传感器输出信号。 探针相对于样品表面移动。 当探针相对于样品表面移动时，使用传感器输出在探针和样品表面之间确定相互作用力。

公开(公告)号：US09335240B2

公开(公告)日：2016-05-10

申请号：US13688034

申请日：2012-11-28

申请人： Hysitron Incorporated

发明人： Yunje Oh ,  Ryan Major ,  Douglas Stauffer ,  Syed Amanula Syed Asif

IPC分类号： G01N3/48 ,  G01N3/42 ,  B82Y35/00 ,  G01Q60/36

CPC分类号： G01N3/42 ,  B82Y35/00 ,  G01N2203/0051 ,  G01N2203/0286 ,  G01N2203/0617 ,  G01Q60/366

摘要： A system and method of measuring an interaction force is disclosed. One embodiment includes providing a method of measuring an interaction force including providing a microelectromechanical transducer. The transducer includes a body, a probe moveable relative to the body, and a micromachined comb drive. The micromachined comb drive includes a differential capacitive displacement sensor to provide a sensor output signal representative of an interaction force on the probe. The probe is moved relative to a sample surface. An interaction force is determined between the probe and the sample surface using the sensor output, as the probe is moved relative to the sample surface.

摘要翻译： 公开了一种测量相互作用力的系统和方法。 一个实施例包括提供测量相互作用力的方法，包括提供微机电换能器。 换能器包括主体，可相对于主体移动的探头以及微机械梳状驱动器。 微加工梳状驱动器包括差分电容位移传感器，以提供表示探针上的相互作用力的传感器输出信号。 探针相对于样品表面移动。 当探针相对于样品表面移动时，使用传感器输出在探针和样品表面之间确定相互作用力。