公开(公告)号：US3162557A

公开(公告)日：1964-12-22

申请号：US15896261

申请日：1961-12-13

Applicant: IBM

Inventor： BROCK GEOFFREY E ,  SILVEY GENE A

IPC: C30B31/06 ,  H01L21/00

CPC classification number: C30B31/06 ,  H01L21/00

公开(公告)号：US3036898A

公开(公告)日：1962-05-29

申请号：US80995659

申请日：1959-04-30

Applicant: IBM

Inventor： BROCK GEOFFREY E ,  WAJDA EDWARD S

IPC: C30B13/24

CPC classification number: C30B13/24 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/108 ,  Y10T117/1088