公开(公告)号：US3367476A

公开(公告)日：1968-02-06

申请号：US57261566

申请日：1966-08-15

Applicant: IBM

Inventor： JESSE ARONSTEIN ,  CACCOMA GEORGE A

IPC: B07C5/344 ,  B65G47/14 ,  H01L21/00 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67144 ,  B07C5/344 ,  B65G47/1421 ,  H01L21/68

公开(公告)号：US3427517A

公开(公告)日：1969-02-11

申请号：US3427517D

申请日：1966-05-19

Applicant: IBM

Inventor： ARONSTEIN JESSE ,  CACCOMA GEORGE A

IPC: H01L21/68 ,  H01G13/00 ,  H01H49/00 ,  H02B3/00

CPC classification number: H01L21/68