公开(公告)号：US2989716A

公开(公告)日：1961-06-20

申请号：US86103859

申请日：1959-12-21

Applicant: IBM

Inventor： BRENNEMANN ANDREW E ,  KAHAN GEORGE J ,  TSUI ROBERT T C

IPC: C23C14/04 ,  C23C14/58 ,  C23F1/02 ,  G11C11/44 ,  H01B1/00 ,  H01L39/00 ,  H01L39/18 ,  H01L39/24

CPC classification number: C23C14/5806 ,  C23C14/042 ,  C23C14/044 ,  C23C14/58 ,  C23C14/5873 ,  C23F1/02 ,  G11C11/44 ,  H01B1/00 ,  H01L39/00 ,  H01L39/18 ,  H01L39/24 ,  Y10S336/01 ,  Y10S505/82 ,  Y10S505/833 ,  Y10S505/882 ,  Y10T29/49014 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24488