公开(公告)号：US20130171743A1

公开(公告)日：2013-07-04

申请号：US13729147

申请日：2012-12-28

申请人： Jang-eun Lee ,  Soon-oh Park ,  Sang-hwan Park ,  Hee-ju Shin

发明人： Jang-eun Lee ,  Soon-oh Park ,  Sang-hwan Park ,  Hee-ju Shin

IPC分类号： H01L43/12

CPC分类号： H01L43/12 ,  G11C11/161 ,  H01L27/228

摘要： A magnetic device and a method of manufacturing the same. In the method, a lower magnetic layer, an insulation layer, and an upper magnetic layer are sequentially formed on a substrate. An upper magnetic layer pattern is formed by patterning the upper magnetic layer until an upper surface of the insulation layer is exposed. An isolation layer pattern is formed from portions of the insulation layer and the lower magnetic layer by performing an oxidation process on the exposed upper surface of the insulation layer, and an insulation layer pattern and a lower magnetic layer pattern are formed from portions of the insulation layer and the lower magnetic layer, where the isolation layer pattern is not formed.

摘要翻译： 磁性装置及其制造方法。 在该方法中，在基板上依次形成下磁性层，绝缘层和上磁性层。 通过图案化上磁性层直到绝缘层的上表面露出来形成上部磁性层图案。 通过在绝缘层的暴露的上表面上进行氧化处理，从绝缘层和下部磁性层的部分形成隔离层图案，并且绝缘层图案和下部磁性层图案由绝缘体的一部分形成 层和下磁性层，其中不形成隔离层图案。

公开(公告)号：US09178135B2

公开(公告)日：2015-11-03

申请号：US14254858

申请日：2014-04-16

申请人： Young-hyun Kim ,  Hee-ju Shin ,  Woo-jin Kim ,  Sang-hwan Park

发明人： Young-hyun Kim ,  Hee-ju Shin ,  Woo-jin Kim ,  Sang-hwan Park

IPC分类号： H01L43/02 ,  H01L43/10 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12 ,  H01L27/22

CPC分类号： H01L43/10 ,  G11C11/161 ,  H01L27/228 ,  H01L43/08 ,  H01L43/12

摘要： A magnetic device can include a tunnel bather and a hybrid magnetization layer disposed adjacent the tunnel barrier. The hybrid magnetization layer can include a first perpendicular magnetic anisotropy (PMA) layer, a second PMA layer, and an amorphous blocking layer disposed between the first and second PMA layers. The first PMA layer can include a multi-layer film in which a first layer formed of Co and a second layer formed of Pt or Pd are alternately stacked. A first dopant formed of an element different from those of the first and second layers can also be included in the first PMA layer. The second PMA layer can be disposed between the first PMA layer and the tunnel barrier, and can include at least one element selected from a group consisting of Co, Fe, and Ni.

摘要翻译： 磁性装置可以包括隧道沐浴器和邻近隧道屏障设置的混合磁化层。 混合磁化层可以包括第一垂直磁各向异性（PMA）层，第二PMA层和设置在第一和第二PMA层之间的非晶形阻挡层。 第一PMA层可以包括多层膜，其中由Co形成的第一层和由Pt或Pd形成的第二层交替堆叠。 由与第一层和第二层不同的元素形成的第一掺杂剂也可以包括在第一PMA层中。 第二PMA层可以设置在第一PMA层和隧道势垒之间，并且可以包括选自由Co，Fe和Ni组成的组中的至少一种元素。