公开(公告)号：US07615445B2

公开(公告)日：2009-11-10

申请号：US11534135

申请日：2006-09-21

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures. An array having inverted-T shaped floating gates may be formed in a self-aligned manner.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。 具有倒T形浮置栅极的阵列可以以自对准的方式形成。

公开(公告)号：US20080074920A1

公开(公告)日：2008-03-27

申请号：US11534139

申请日：2006-09-21

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： G11C5/06

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L27/11521

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures. An array having inverted-T shaped floating gates may be formed in a self-aligned manner.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。 具有倒T形浮置栅极的阵列可以以自对准的方式形成。

公开(公告)号：US08288225B2

公开(公告)日：2012-10-16

申请号：US13010563

申请日：2011-01-20

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。

公开(公告)号：US07910434B2

公开(公告)日：2011-03-22

申请号：US12567257

申请日：2009-09-25

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。

公开(公告)号：US20080076217A1

公开(公告)日：2008-03-27

申请号：US11534135

申请日：2006-09-21

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures. An array having inverted-T shaped floating gates may be formed in a self-aligned manner.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。 具有倒T形浮置栅极的阵列可以以自对准的方式形成。

公开(公告)号：US20100047979A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12567257

申请日：2009-09-25

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336 ,  H01L21/76 ,  H01L21/3205

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。

公开(公告)号：US20110111583A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：US13010563

申请日：2011-01-20

申请人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

发明人： Henry Chien ,  George Matamis ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani ,  Hidetaka Horiuchi ,  Jeffrey W. Lutze ,  Nima Mokhlesi ,  Yupin Kawing Fong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/7881

摘要： A nonvolatile memory array includes floating gates that have an inverted-T shape in cross section along a plane that is perpendicular to the direction along which floating cells are connected together to form a string. Adjacent strings are isolated by shallow trench isolation structures.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列包括沿着垂直于浮动单元连接在一起以形成串的方向的平面的横截面具有倒T形的浮动栅极。 相邻的串由浅沟槽隔离结构隔离。

公开(公告)号：US07504686B2

公开(公告)日：2009-03-17

申请号：US11469727

申请日：2006-09-01

申请人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Henry Chien ,  George Matamis

发明人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Henry Chien ,  George Matamis

IPC分类号： H01L29/76

CPC分类号： H01L27/11521 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/115 ,  H01L29/42324 ,  H01L29/66825

摘要： Floating gate structures are disclosed that have a projection that extends away from the surface of a substrate. This projection may provide the floating gate with increased surface area for coupling the floating gate and the control gate. In one embodiment, the word line extends downwards on each side of the floating gate to shield adjacent floating gates in the same string. In another embodiment, a process for fabricating floating gates with projections is disclosed. The projection may be formed so that it is self-aligned to the rest of the floating gate.

摘要翻译： 公开了浮动栅极结构，其具有远离衬底的表面延伸的突起。 该突起可以为浮动栅极提供增加的表面积，用于耦合浮动栅极和控制栅极。 在一个实施例中，字线在浮动栅极的每一侧向下延伸以屏蔽相同串中的相邻浮动栅极。 在另一个实施例中，公开了一种用于制造具有突起的浮动栅极的工艺。 突起可以形成为使得其与浮动栅极的其余部分自对准。

公开(公告)号：US07436019B2

公开(公告)日：2008-10-14

申请号：US11622634

申请日：2007-01-12

申请人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani

发明人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani

IPC分类号： H01L29/788

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521

摘要： A non-volatile memory array has word lines coupled to floating gates, the floating gates having an upper portion that is adapted to provide increased surface area, and thereby, to provide increased coupling to the word lines. Shielding between floating gates is also provided. The upper portion covers part of a lower portion of the floating gate and leaves a part of the lower portion uncovered. A control gate is coplanar with a top surface of the upper portion, a vertical side of the upper portion, and the uncovered portion of the lower portion.

摘要翻译： 非易失性存储器阵列具有耦合到浮动栅极的字线，浮动栅极具有适于提供增加的表面积的上部部分，从而提供增加的与字线的耦合。 还提供了浮动门之间的屏蔽。 上部覆盖浮动门的下部的一部分并且使下部的未被覆盖的部分离开。 控制栅极与上部的上表面，上部的垂直侧和下部的未覆盖部分共面。

公开(公告)号：US07183153B2

公开(公告)日：2007-02-27

申请号：US10799060

申请日：2004-03-12

申请人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani

发明人： Jeffrey W. Lutze ,  Tuan Pham ,  Masaaki Higashitani

IPC分类号： H01L21/8238

CPC分类号： H01L27/115 ,  H01L21/28273 ,  H01L27/11521

摘要： A method of forming an array of non-volatile memory cells includes forming a plurality of floating gate structures and shaping the plurality of floating gate structures to reduce the width of upper parts of floating gate structures. A first process forms floating gates by etching an upper portion of a polysilicon structure with masking elements in place to shape the floating gate. A second process etches recesses and protrusions in a polysilicon structure prior to etching the structure to form individual floating gates.

摘要翻译： 形成非易失性存储单元阵列的方法包括形成多个浮置栅极结构并使多个浮动栅极结构成形以减小浮动栅极结构的上部的宽度。 第一工艺通过用掩蔽元件蚀刻多晶硅结构的上部来形成浮栅来形成浮栅，以形成浮栅。 在蚀刻结构之前，第二工艺蚀刻多晶硅结构中的凹陷和突起以形成单独的浮动栅极。