公开(公告)号：US20120257185A1

公开(公告)日：2012-10-11

申请号：US13440112

申请日：2012-04-05

申请人： Jin-Seok HEO ,  Chang-Min Park ,  Seok-Hwan Oh ,  Jeong-Ho Yeo

发明人： Jin-Seok HEO ,  Chang-Min Park ,  Seok-Hwan Oh ,  Jeong-Ho Yeo

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C35/0805 ,  B29C2035/0827 ,  B29L2031/737 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： A method of manufacturing a mask includes dividing an upper surface of a template having a design pattern into a plurality of regions, the template being arranged over a polymer layer on a mask substrate, correcting a distorted region among the regions, pressing the polymer layer with the template to form a mask pattern corresponding to the design pattern on the polymer layer; and curing the mask pattern.

摘要翻译： 制造掩模的方法包括将具有设计图案的模板的上表面划分为多个区域，模板布置在掩模基板上的聚合物层上，校正区域之间的变形区域，将聚合物层与 该模板形成对应于聚合物层上的设计图案的掩模图案; 并固化掩模图案。

公开(公告)号：US20110128518A1

公开(公告)日：2011-06-02

申请号：US12948370

申请日：2010-11-17

申请人： Jin-Seok HEO ,  Chang-Min PARK ,  Jeong-Ho YEO ,  Joo-On PARK ,  In-Sung KIM

发明人： Jin-Seok HEO ,  Chang-Min PARK ,  Jeong-Ho YEO ,  Joo-On PARK ,  In-Sung KIM

IPC分类号： G03B27/68

CPC分类号： G03F7/707 ,  G03F7/70708 ,  G03F7/70783

摘要： Provided are a reflective reticle chuck, a reflective illumination system including the chuck, a method of controlling the flatness of a reflective reticle using the chuck, and a method of manufacturing a semiconductor device using the chuck. The reflective reticle chuck includes a fixed portion and a mobile portion that together provide a securing surface for the reflective reticle. The mobile portion may alter a height of the securing surface relative to the fixed portion.

摘要翻译： 提供了一种反射型掩模版卡盘，包括卡盘的反射照明系统，使用该卡盘来控制反射型掩模版的平坦度的方法，以及使用卡盘制造半导体器件的方法。 反射型掩模板卡盘包括固定部分和可移动部分，其一起为反射型掩模版提供固定表面。 移动部分可以改变固定表面相对于固定部分的高度。

公开(公告)号：US20100271035A1

公开(公告)日：2010-10-28

申请号：US12830737

申请日：2010-07-06

申请人： Jin-Seok HEO ,  Dal-Hoon Lee ,  Jee-Ho Kim ,  Sang-Hoon Lee ,  Chang-Eon Jin

发明人： Jin-Seok HEO ,  Dal-Hoon Lee ,  Jee-Ho Kim ,  Sang-Hoon Lee ,  Chang-Eon Jin

IPC分类号： G01N27/416

CPC分类号： G01R31/3658 ,  G01R19/0084 ,  G01R31/362

摘要： Disclosed is a battery cell voltage measuring apparatus and method. The battery cell voltage measuring apparatus comprises a plurality of floating capacitors provided corresponding to a plurality of cells contained in a battery pack; a plurality of switching units provided corresponding to each cell of the battery pack and switchable into a charge mode or a measurement mode; and a cell voltage detector for measuring the voltage of each cell by switching each switching unit into a charge mode to charge the voltage of each cell on each corresponding floating capacitor and time-differentially switching each switching unit into a measurement mode to apply the cell voltage charged on the floating capacitor between a reference potential and a common cell voltage measuring line.

摘要翻译： 公开了一种电池单元电压测量装置和方法。 电池单元电压测量装置包括与容纳在电池组中的多个电池对应地设置的多个浮动电容器; 多个开关单元，其对应于电池组的每个单元设置并可切换到充电模式或测量模式; 以及电池电压检测器，用于通过将每个开关单元切换到充电模式来测量每个电池的电压，以对每个相应的浮动电容器上的每个电池单元的电压进行充电，并将每个开关单元时差地切换成测量模式以施加电池电压 在参考电位和公共电池电压测量线之间的浮动电容器上充电。

公开(公告)号：US20110210747A1

公开(公告)日：2011-09-01

申请号：US13050493

申请日：2011-03-17

申请人： Jin-Seok HEO ,  Jee-Ho KIM ,  Dal-Hoon LEE ,  Sang-Hoon LEE

发明人： Jin-Seok HEO ,  Jee-Ho KIM ,  Dal-Hoon LEE ,  Sang-Hoon LEE

IPC分类号： G01N27/416

CPC分类号： G01R31/3658 ,  B60L11/1855 ,  B60L11/1859 ,  B60L11/1866 ,  G01R19/16542 ,  G01R31/362 ,  H01M10/48 ,  H02J7/0021 ,  Y02T10/7005 ,  Y02T10/7061

摘要： A cell voltage measuring apparatus of a battery pack comprises a plurality of multiplexers connected corresponding to each cell group of the battery pack and operated to output a voltage signal of each cell in each cell group based on a reference potential applied from a corresponding cell group; a plurality of floating capacitors connected corresponding to each cell in each cell group and on which the voltage of each cell is charged and held; a switching means for enabling the voltage of each cell to be charged and held on each corresponding floating capacitor; and a controller for controlling the switching means per each cell group to enable the voltage of each cell to be charged and held on each corresponding floating capacitor and controlling each multiplexer to measure the cell voltage held on each floating capacitor of each cell group connected to each corresponding multiplexer.

摘要翻译： 电池组的电池电压测量装置包括对应于电池组的每个电池组连接的多个多路复用器，并且被操作以基于从相应的电池组施加的参考电位输出每个电池组中的每个电池单元的电压信号; 与每个单元组中的每个单元对应地连接的多个浮置电容器，并且在每个单元组中对每个单元的电压进行充电和保持; 开关装置，用于使每个电池的电压被充电并保持在每个对应的浮动电容器上; 以及控制器，用于控制每个单元组的开关装置，以使每个单元的电压被充电并保持在每个相应的浮动电容器上，并且控制每个多路复用器以测量保持在每个单元组连接的每个单元组的每个浮置电容器上的单元电压 相应的多路复用器。