公开(公告)号：US20060139609A1

公开(公告)日：2006-06-29

申请号：US11023628

申请日：2004-12-29

申请人： Johannes Baselmans ,  Anastasius Bruinsma ,  Pieter De Jager ,  Robert-Han Munnig Schmidt ,  Henri Vink

发明人： Johannes Baselmans ,  Anastasius Bruinsma ,  Pieter De Jager ,  Robert-Han Munnig Schmidt ,  Henri Vink

IPC分类号： G03B27/72

CPC分类号： G03F7/7005

摘要： A lithographic illumination apparatus and method includes receiving a plurality of source radiation beams from a plurality of corresponding radiation sources, deflecting the plurality of source radiation beams along a common beam path, thereby generating a projection beam of radiation, imparting the projection beam of radiation with a cross-section pattern, and projecting the patterned projection beam of radiation onto a target portion of a substrate.

摘要翻译： 光刻照明装置和方法包括从多个对应的辐射源接收多个源辐射束，沿着公共光束路径偏转多个源辐射束，从而产生投影辐射束，将辐射束投射到 横截面图案，以及将图案化的投影辐射束投影到基板的目标部分上。

公开(公告)号：US20060055905A1

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：US10939947

申请日：2004-09-14

申请人： Johannes Baselmans ,  Anastasius Bruinsma ,  Pieter De Jager ,  Henri Vink

发明人： Johannes Baselmans ,  Anastasius Bruinsma ,  Pieter De Jager ,  Henri Vink

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70058 ,  G03F7/70291 ,  G03F7/70583

摘要： Use of a refraction grating to divide a beam of radiation into a plurality of sub-beams that are each directed onto an array of individually controllable elements, modulated thereby and projected onto a substrate as an array of spots.

公开(公告)号：US20070242253A1

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：US11403194

申请日：2006-04-13

申请人： Huibert Visser ,  Johannes Baselmans ,  Pieter De Jager ,  Henri Vink

发明人： Huibert Visser ,  Johannes Baselmans ,  Pieter De Jager ,  Henri Vink

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70058

摘要： A system and method are used to form incoherent beams from at least a partially coherent beam, such that interference or speckle patterns are substantially eliminated. A rotating optical element directs the partially coherent beam to reflect from an angular distribution changing element to form an incoherent beam. The partially coherent beam can be directed at valying angles or positions onto the angular distribution changing element through rotation of the rotating optical element. The angles can vary as a function of time.

摘要翻译： 系统和方法用于从至少部分相干光束形成非相干光束，从而基本上消除了干涉或散斑图案。 旋转光学元件引导部分相干光束从角分布变化元件反射以形成非相干光束。 通过旋转光学元件的旋转，部分相干光束可以以角度或位置指向角度分布变化元件。 角度可以随着时间的变化而变化。

公开(公告)号：US20070247606A1

公开(公告)日：2007-10-25

申请号：US11606386

申请日：2006-11-30

申请人： Huibert Visser ,  Jacob Klinkhamer ,  Lev Ryzhikov ,  Scott Coston ,  Adel Joobeur ,  Henri Vink ,  Yevgeniy Shmarev

发明人： Huibert Visser ,  Jacob Klinkhamer ,  Lev Ryzhikov ,  Scott Coston ,  Adel Joobeur ,  Henri Vink ,  Yevgeniy Shmarev

IPC分类号： G03B27/54

CPC分类号： G03F7/70583 ,  G02B27/0905 ,  G03F7/70075

摘要： A system and method are used to substantially homogenize and remove at least some coherence from a beam of radiation.

摘要翻译： 使用系统和方法基本均匀化并从辐射束中去除至少一些相干性。

公开(公告)号：US20080106717A1

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：US11866820

申请日：2007-10-03

申请人： Oscar NOORDMAN ,  Justin Kreuzer ,  Henri Vink ,  Teunis Van Den Dool ,  Daniel Calero

发明人： Oscar NOORDMAN ,  Justin Kreuzer ,  Henri Vink ,  Teunis Van Den Dool ,  Daniel Calero

IPC分类号： G03B27/70 ,  G03B27/54 ,  G03B27/74

CPC分类号： G03F7/70558 ,  G02B26/001 ,  G03F7/70041

摘要： A system and method provides high speed variable attenuators. The attenuators can be used within a lithographic apparatus to control intensity of radiation in one or more correction pulses used to correct a dose of the radiation following an initial pulse of radiation.

摘要翻译： 系统和方法提供高速可变衰减器。 衰减器可以在光刻设备中使用，以控制用于在初始辐射脉冲之后校正辐射剂量的一个或多个校正脉冲中的辐射强度。