公开(公告)号：US20050264822A1

公开(公告)日：2005-12-01

申请号：US10857053

申请日：2004-05-28

申请人： John Bockman ,  Ludmila Golyanskaya ,  Kenneth Wayne ,  Miao Zhu

发明人： John Bockman ,  Ludmila Golyanskaya ,  Kenneth Wayne ,  Miao Zhu

IPC分类号： G01B9/02 ,  G01J9/02 ,  G02B7/00

CPC分类号： G01B9/02057 ,  G01B9/02003 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/02049 ,  G01B9/02072 ,  G01B2290/70 ,  G01J2009/0261 ,  G02B7/006

摘要： An interferometer system includes a plane mirror interferometer, a turning mirror, a retardation plate assembly having a retardation plate that can be adjusted and then fixed, and a retroreflector. A light beam travels in a path comprising the plane mirror interferometer, the turning mirror, the retardation plate assembly, and the retroreflector. The retardation plate assembly may include a plurality of bearings, a ring riding on the bearings, the retardation plate mounted to the ring, and a plunger pushing the ring against the bearings. The retardation plate may be fixed by adhesive after determining an orientation that produces little polarization leakage in the system.

摘要翻译： 干涉仪系统包括平面镜干涉仪，转向镜，具有能够被调整然后固定的延迟板的相位差板组件和后向反射器。 光束在包括平面镜干涉仪，转向镜，延迟板组件和后向反射器的路径中行进。 延迟板组件可以包括多个轴承，骑在轴承上的环，安装到环上的相位差板和将环推到轴承上的柱塞。 在确定在系统中几乎不产生极化泄漏的取向之后，可以通过粘合剂固定延迟板。