公开(公告)号：US5798201A

公开(公告)日：1998-08-25

申请号：US887466

申请日：1997-07-02

申请人： Katsumi Inomata ,  Nasahiro Akiyama ,  Toshiyuki Ota ,  Akira Tsuji

发明人： Katsumi Inomata ,  Nasahiro Akiyama ,  Toshiyuki Ota ,  Akira Tsuji

IPC分类号： G03F7/022 ,  G03F7/023

CPC分类号： G03F7/022 ,  Y10S428/901 ,  Y10S428/913

摘要： A radiation sensitive resin composition containing an alkali soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound of a polyphenol or a radiation sensitive resin composition containing an alkali soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound and a polyphenol compound.

公开(公告)号：US5707558A

公开(公告)日：1998-01-13

申请号：US538049

申请日：1995-10-02

申请人： Katsumi Inomata ,  Nasahiro Akiyama ,  Toshiyuki Ota ,  Akira Tsuji

发明人： Katsumi Inomata ,  Nasahiro Akiyama ,  Toshiyuki Ota ,  Akira Tsuji

IPC分类号： G03F7/022 ,  G03C1/00 ,  G03C1/52

CPC分类号： G03F7/022 ,  Y10S428/901 ,  Y10S428/913

摘要： A radiation sensitive resin composition containing an alkali soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound of a polyphenol or a radiation sensitive resin composition containing an alkali soluble resin and a 1,2-quinonediazide compound and a polyphenol compound.

摘要翻译： 含有多酚的碱溶性树脂和1,2-醌二叠氮化合物的辐射敏感性树脂组合物或含有碱溶性树脂和1,2-醌二叠氮化合物以及多酚化合物的辐射敏感性树脂组合物。