公开(公告)号：US08791293B2

公开(公告)日：2014-07-29

申请号：US13565259

申请日：2012-08-02

申请人： Kazunori Mori ,  Satoru Narizuka ,  Fumihiro Amemiya ,  Masaki Fujiwara

发明人： Kazunori Mori ,  Satoru Narizuka ,  Fumihiro Amemiya ,  Masaki Fujiwara

IPC分类号： C07C309/10 ,  C07C309/06 ,  C07C303/22 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07C309/10 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2601/18 ,  C07C2603/74 ,  C08F28/04 ,  C08F220/24 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/14 ,  C08F222/18 ,  C08F228/04 ,  C08F2220/382 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2039 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/30

摘要： According to the present invention, there is provided a fluorine-containing sulfonate resin having a repeating unit of the following general formula (3). In order to prevent deficiency such as roughness after pattern formation or failure in pattern formation, the fluorine-containing sulfonate resin incorporates therein a photoacid generating function and serves as a resist resin in which “a moiety capable of changing its developer solubility by the action of an acid” and “a moiety having a photoacid generating function” are arranged with regularity.

摘要翻译： 根据本发明，提供具有下述通式（3）的重复单元的含氟磺酸酯树脂。 为了防止图案形成或图案形成失败后的粗糙度等缺陷，含氟磺酸酯树脂中含有光致酸产生功能，作为抗蚀剂树脂，其中“能够通过作用 酸“和”具有光酸产生功能的部分“被规则排列。

公开(公告)号：US20130065182A1

公开(公告)日：2013-03-14

申请号：US13565259

申请日：2012-08-02

申请人： Kazunori MORI ,  Satoru Narizuka ,  Fumihiro Amemiya ,  Masaki Fujiwara

发明人： Kazunori MORI ,  Satoru Narizuka ,  Fumihiro Amemiya ,  Masaki Fujiwara

IPC分类号： C07C309/10 ,  G03F7/20 ,  G03F7/004 ,  C07C303/22 ,  C08F228/04

CPC分类号： G03F7/0045 ,  C07C309/10 ,  C07C2601/08 ,  C07C2601/14 ,  C07C2601/18 ,  C07C2603/74 ,  C08F28/04 ,  C08F220/24 ,  C08F220/28 ,  C08F220/38 ,  C08F222/14 ,  C08F222/18 ,  C08F228/04 ,  C08F2220/382 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0041 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2039 ,  G03F7/2041 ,  G03F7/30

摘要： According to the present invention, there is provided a fluorine-containing sulfonate resin having a repeating unit of the following general formula (3). In order to prevent deficiency such as roughness after pattern formation or failure in pattern formation, the fluorine-containing sulfonate resin incorporates therein a photoacid generating function and serves as a resist resin in which “a moiety capable of changing its developer solubility by the action of an acid” and “a moiety having a photoacid generating function” are arranged with regularity.

摘要翻译： 根据本发明，提供具有下述通式（3）的重复单元的含氟磺酸酯树脂。 为了防止图案形成或图案形成失败后的粗糙度等缺陷，含氟磺酸酯树脂中含有光酸产生功能，作为抗蚀剂树脂，其中能够通过以下作用改变其显影剂溶解度的部分： 酸和具有光酸产生功能的部分规则地排列。