公开(公告)号：US20080105202A9

公开(公告)日：2008-05-08

申请号：US10680656

申请日：2003-10-06

申请人： Kevin Fairbairn ,  Jessica Barzilai ,  Hari Ponnekanti ,  W.N. Taylor

发明人： Kevin Fairbairn ,  Jessica Barzilai ,  Hari Ponnekanti ,  W.N. Taylor

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： H01L21/67167 ,  C23C16/4412 ,  C23C16/54 ,  H01L21/67017 ,  H01L21/67173 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/67196 ,  H01L21/67201

摘要： The present invention provides an apparatus for vacuum processing generally comprising an enclosure having a plurality of isolated chambers formed therein, a gas distribution assembly disposed in each processing chamber, a gas source connected to the plurality of isolated chambers, and a power supply connected to each gas distribution assembly.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于真空处理的设备，其通常包括具有形成在其中的多个隔离室的外壳，设置在每个处理室中的气体分配组件，连接到多个隔离室的气源，以及连接到每个 气体分配组件