公开(公告)号：US07431772B2

公开(公告)日：2008-10-07

申请号：US10797286

申请日：2004-03-09

申请人： Laxman Murugesh ,  Padmanabhan Krishnaraj ,  Carl Dunham

发明人： Laxman Murugesh ,  Padmanabhan Krishnaraj ,  Carl Dunham

IPC分类号： C23C16/00 ,  C23F1/00 ,  H01L21/306

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/45591

摘要： A gas distributor distributes a gas across a surface of a substrate processing chamber. The gas distributor has a hub, a baffle extending radially outward from the hub, a first set of vanes and a second set of vanes. In one version, the hub has a gas inlet and a gas outlet. The baffle has an opposing first and second surfaces. First vanes are on the first surface of the baffle and direct gas across chamber surfaces. In one version, the first vanes comprise arcuate plates that curve and taper outward from the hub. Second vanes are on the second surface of the baffle and direct gas across the second surface of the baffle. In one version, a gas feed-through tube in the hub can allow a gas to bypass the first and second set of vanes.

摘要翻译： 气体分配器将气体分布在基板处理室的表面上。 气体分配器具有毂，从轮毂径向向外延伸的挡板，第一组叶片和第二组叶片。 在一个版本中，轮毂具有气体入口和气体出口。 挡板具有相对的第一和第二表面。 第一个叶片位于挡板的第一个表面上，并直接通过气室表面。 在一个版本中，第一叶片包括从轮毂向外弯曲和渐缩的弧形板。 第二个叶片位于挡板的第二个表面上，直接通过挡板的第二个表面。 在一个版本中，轮毂中的气体馈通管可允许气体绕过第一组叶片和第二组叶片。

公开(公告)号：US20050199184A1

公开(公告)日：2005-09-15

申请号：US10797286

申请日：2004-03-09

申请人： Laxman Murugesh ,  Padmanabhan Krishnaraj ,  Carl Dunham

发明人： Laxman Murugesh ,  Padmanabhan Krishnaraj ,  Carl Dunham

IPC分类号： C23C16/00 ,  H01L21/00

CPC分类号： C23C16/45565 ,  C23C16/4405 ,  C23C16/45591

摘要： A gas distributor distributes a gas across a surface of a substrate processing chamber. The gas distributor has a hub, a baffle extending radially outward from the hub, a first set of vanes and a second set of vanes. In one version, the hub has a gas inlet and a gas outlet. The baffle has an opposing first and second surfaces. First vanes are on the first surface of the baffle and direct gas across chamber surfaces. In one version, the first vanes comprise arcuate plates that curve and taper outward from the hub. Second vanes are on the second surface of the baffle and direct gas across the second surface of the baffle. In one version, a gas feed-through tube in the hub can allow a gas to bypass the first and second set of vanes.

摘要翻译： 气体分配器将气体分布在基板处理室的表面上。 气体分配器具有毂，从轮毂径向向外延伸的挡板，第一组叶片和第二组叶片。 在一个版本中，轮毂具有气体入口和气体出口。 挡板具有相对的第一和第二表面。 第一个叶片位于挡板的第一个表面上，并直接通过气室表面。 在一个版本中，第一叶片包括从轮毂向外弯曲和渐缩的弧形板。 第二个叶片位于挡板的第二个表面上，直接通过挡板的第二个表面。 在一个版本中，轮毂中的气体馈通管可允许气体绕过第一组叶片和第二组叶片。

公开(公告)号：US20140067556A1

公开(公告)日：2014-03-06

申请号：US13599630

申请日：2012-08-30

申请人： Sharon Burt ,  Jeffrey Collemer ,  Carl Dunham ,  Jason Stedman ,  Jeffrey Theroux

发明人： Sharon Burt ,  Jeffrey Collemer ,  Carl Dunham ,  Jason Stedman ,  Jeffrey Theroux

IPC分类号： G06Q30/02

CPC分类号： G06Q30/0277

摘要： Methods and systems for establishing a web presence, a mobile-optimized web presence, a marketing campaign and a mobile-optimized marketing campaign. Various embodiments of the methods and systems disclosed herein may permit independently generating mobile-optimized and desktop versions of one or more web presences, landing pages and marketing campaigns based on business information. Computer systems implementing methods of establishing mobile-optimized web presences and marketing campaigns are also disclosed.

摘要翻译： 用于建立网络存在，移动优化网络存在，营销活动和移动优化营销活动的方法和系统。 本文公开的方法和系统的各种实施例可以允许基于业务信息独立地生成一个或多个网络存在，登陆页面和营销活动的移动优化和桌面版本。 还披露了实施移动优化网络存在和营销活动建立方法的计算机系统。