公开(公告)号：US07230243B2

公开(公告)日：2007-06-12

申请号：US11156478

申请日：2005-06-21

申请人： Maki Tanaka ,  Atsushi Miyamoto ,  Hidetoshi Morokuma ,  Chie Shishido ,  Mitsuji Ikeda ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Maki Tanaka ,  Atsushi Miyamoto ,  Hidetoshi Morokuma ,  Chie Shishido ,  Mitsuji Ikeda ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： H01J37/28 ,  G01N23/00 ,  G21K7/00 ,  G06K9/00

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J2237/2814

摘要： The present invention relates to a method and apparatus for measuring a three-dimensional profile using a SEM, capable of accurately measuring the three-dimensional profile of even a flat surface or a nearly vertical surface based on the inclination angle dependence of the amount of secondary electron image signal detected by the SEM. Specifically, a tilt image obtaining unit obtains a tilt image (a tilt secondary electron image) I(2) of flat regions a and c1 on a pattern to be measured by using an electron beam incident on the pattern from an observation direction φ(2). Then, profile measuring units presume the slope (or surface inclination angle) at each point on the pattern based on the obtained tilt image and integrate successively each presumed slope value (or surface inclination angle value) to measure three-dimensional profiles S2a and S2c. This arrangement allows a three-dimensional profile to be accurately measured.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于使用SEM测量三维轮廓的方法和装置，其能够基于二次侧的量的倾斜角度依赖性精确地测量均匀的平面或几乎垂直的表面的三维轮廓 电子图像信号由SEM检测。 具体地说，倾斜图像获取单元通过使用从观察方向phi入射到图案上的电子束来获得待测图案上的平坦区域a和c 1的倾斜图像（倾斜二次电子图像）I（2） 2）。 然后，轮廓测量单元基于所获得的倾斜图像来假设在图案上的每个点处的斜率（或表面倾斜角），并且连续地积分每个假设的斜率值（或表面倾斜角值），以测量三维轮廓S 2a和 S 2 c。 这种布置允许精确地测量三维轮廓。

公开(公告)号：US20050285034A1

公开(公告)日：2005-12-29

申请号：US11156478

申请日：2005-06-21

申请人： Maki Tanaka ,  Atsushi Miyamoto ,  Hidetoshi Morokuma ,  Chie Shishido ,  Mitsuji Ikeda ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Maki Tanaka ,  Atsushi Miyamoto ,  Hidetoshi Morokuma ,  Chie Shishido ,  Mitsuji Ikeda ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： H01J37/28

CPC分类号： H01J37/28 ,  H01J2237/2814

摘要： The present invention relates to a method and apparatus for measuring a three-dimensional profile using a SEM, capable of accurately measuring the three-dimensional profile of even a flat surface or a nearly vertical surface based on the inclination angle dependence of the amount of secondary electron image signal detected by the SEM. Specifically, a tilt image obtaining unit obtains a tilt image (a tilt secondary electron image) I(2) of flat regions a and c1 on a pattern to be measured by using an electron beam incident on the pattern from an observation direction φ(2). Then, profile measuring units presume the slope (or surface inclination angle) at each point on the pattern based on the obtained tilt image and integrate successively each presumed slope value (or surface inclination angle value) to measure three-dimensional profiles S2a and S2c. This arrangement allows a three-dimensional profile to be accurately measured.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于使用SEM测量三维轮廓的方法和装置，其能够基于二次侧的量的倾斜角度依赖性精确地测量均匀的平面或几乎垂直的表面的三维轮廓 电子图像信号由SEM检测。 具体地说，倾斜图像获取单元通过使用从观察方向phi入射到图案上的电子束来获得待测图案上的平坦区域a和c 1的倾斜图像（倾斜二次电子图像）I（2） 2）。 然后，轮廓测量单元基于所获得的倾斜图像来假设在图案上的每个点处的斜率（或表面倾斜角），并且连续地积分每个假设的斜率值（或表面倾斜角值），以测量三维轮廓S 2a和 S 2 c。 这种布置允许精确地测量三维轮廓。

公开(公告)号：US09141879B2

公开(公告)日：2015-09-22

申请号：US13807664

申请日：2011-05-30

申请人： Hiroyuki Ushiba ,  Yasutaka Toyoda ,  Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda

发明人： Hiroyuki Ushiba ,  Yasutaka Toyoda ,  Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda

IPC分类号： G06K9/00 ,  G06K9/62 ,  G01B15/00 ,  H01J37/28 ,  G06T7/00 ,  G06K9/32 ,  G06K9/74

CPC分类号： G06K9/6201 ,  G01B15/00 ,  G06K9/3241 ,  G06K9/6223 ,  G06K9/74 ,  G06T7/001 ,  G06T7/337 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20036 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2817

摘要： In order to provide a computer program, an image processing device, and a pattern matching method that perform pattern matching at a high level of accuracy without relying on edge deformation, contrast fluctuations, etc., in one embodiment, the disclosed pattern matching method and device perform pattern matching over an image using a template produced on the basis of the below mentioned design data. The pattern matching method and device determine the characteristic quantities of the image for an inner region and/or an outer region that are divided by a line that defines the contour of a pattern, and determine positions at which said characteristic quantities satisfy predetermined conditions to be matching positions, matching position candidates, or erroneous matching positions.

摘要翻译： 为了提供一个计算机程序，图像处理装置和模式匹配方法，其在一个实施例中，不依赖于边缘变形，对比度波动等，以高精度执行模式匹配，所公开的模式匹配方法和 设备使用基于下述设计数据生成的模板对图像执行模式匹配。 图案匹配方法和装置确定由限定图案轮廓的线划分的内部区域和/或外部区域的图像的特征量，并且确定所述特征量满足预定条件的位置 匹配位置，匹配位置候选或错误匹配位置。

公开(公告)号：US20130216141A1

公开(公告)日：2013-08-22

申请号：US13807664

申请日：2011-05-30

申请人： Hiroyuki Ushiba ,  Yasutaka Toyoda ,  Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda

发明人： Hiroyuki Ushiba ,  Yasutaka Toyoda ,  Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06K9/6201 ,  G01B15/00 ,  G06K9/3241 ,  G06K9/6223 ,  G06K9/74 ,  G06T7/001 ,  G06T7/337 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/20036 ,  G06T2207/30148 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2817

摘要： In order to provide a computer program, an image processing device, and a pattern matching method that perform pattern matching at a high level of accuracy without relying on edge deformation, contrast fluctuations, etc., in one embodiment, the disclosed pattern matching method and device perform pattern matching over an image using a template produced on the basis of the below mentioned design data. The pattern matching method and device determine the characteristic quantities of the image for an inner region and/or an outer region that are divided by a line that defines the contour of a pattern, and determine positions at which said characteristic quantities satisfy predetermined conditions to be matching positions, matching position candidates, or erroneous matching positions.

摘要翻译： 为了提供一个计算机程序，图像处理装置和模式匹配方法，其在一个实施例中，不依赖于边缘变形，对比度波动等，以高精度执行模式匹配，所公开的模式匹配方法和 设备使用基于下述设计数据生成的模板对图像执行模式匹配。 图案匹配方法和装置确定由限定图案轮廓的线划分的内部区域和/或外部区域的图像的特征量，并且确定所述特征量满足预定条件的位置 匹配位置，匹配位置候选或错误匹配位置。

公开(公告)号：US20120182415A1

公开(公告)日：2012-07-19

申请号：US13499983

申请日：2010-10-04

申请人： Yasutaka Toyoda ,  Mitsuji Ikeda ,  Yuichi Abe

发明人： Yasutaka Toyoda ,  Mitsuji Ikeda ,  Yuichi Abe

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01N21/95607 ,  G06T7/001 ,  G06T2207/30148

摘要： Disclosed is a pattern matching method whereby a testing point can be searched accurately while simplifying the work of presetting. An image region of a part of a captured image is extracted, and a divided image of the image region is set as a template image. A pattern matching is performed by rotating the template image. Moreover, the pattern matching determines whether a point-symmetric pattern exists inside the image region.

摘要翻译： 公开了一种模式匹配方法，其中可以精确地搜索测试点，同时简化预设的工作。 提取拍摄图像的一部分的图像区域，并将图像区域的分割图像设置为模板图像。 通过旋转模板图像来执行模式匹配。 此外，图案匹配确定图像区域内是否存在点对称图案。

公开(公告)号：US20090087103A1

公开(公告)日：2009-04-02

申请号：US12194763

申请日：2008-08-20

申请人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06K9/6203

摘要： There is provided an inspection apparatus and method that output an accurate matching position even if a search image contains a pattern similar to a template. An image search unit includes a relative position comparing unit which compares the relative position of a template in a template selection image with the relative position of a location currently being searched for in a search image and outputs the amount of position mismatch between the relative positions. A matching position determining unit determines a matching position by taking into consideration the amount of position mismatch in addition to search image similarity distribution information.

摘要翻译： 提供了即使搜索图像包含类似于模板的模式的输出精确匹配位置的检查装置和方法。 图像搜索单元包括相对位置比较单元，其将模板选择图像中的模板的相对位置与搜索图像中当前正在搜索的位置的相对位置进行比较，并输出相对位置之间的位置不匹配量。 匹配位置确定单元除了搜索图像相似度分布信息之外还考虑位置偏差量来确定匹配位置。

公开(公告)号：US20080069453A1

公开(公告)日：2008-03-20

申请号：US11836452

申请日：2007-08-09

申请人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Satou ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Satou ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06K9/6203 ,  G06K2209/19 ,  G06T7/32 ,  G06T2207/10056 ,  G06T2207/30148

摘要： An inspection apparatus performing template matching of a search image capable of outputting a correct matching position even if a pattern similar to a template exists in the search image is provided.The inspection apparatus includes a template cutout means for cutting out a template from a template selection image, a marginal similarity calculation means for calculating marginal similarity distribution information, which is a similarity distribution of the template selection image to the template, a search image similarity calculation part for calculating search image similarity distribution information, which is a similarity distribution of the search image to the template, a similarity distribution-to-similarity distribution similarity calculation means for calculating similarity distribution-to-similarity distribution similarity information between the marginal similarity distribution information and the search image similarity distribution information, and a matching position determination part for determining a matching position based on the similarity distribution-to-similarity distribution similarity.

摘要翻译： 提供了即使在搜索图像中存在类似于模板的图案，也能够执行能够输出正确的匹配位置的搜索图像的模板匹配的检查装置。 所述检查装置包括用于从模板选择图像切割模板的模板切除装置，用于计算作为模板选择图像与模板的相似度分布的边缘相似度分布信息的边缘相似度计算装置，搜索图像相似度计算 用于计算搜索图像与模板的相似度分布的搜索图像相似度分布信息的部分，用于计算边缘相似度分布信息之间的相似度分布 - 相似度分布相似度信息的相似度分布 - 相似度分布相似度计算装置 以及搜索图像相似度分布信息，以及匹配位置确定部分，用于基于相似度分布与相似度分布相似度来确定匹配位置。

公开(公告)号：US08498489B2

公开(公告)日：2013-07-30

申请号：US12920724

申请日：2009-04-16

申请人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： G06K9/62 ,  G06K9/00

CPC分类号： G06T7/60 ,  G06K9/6203 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148

摘要： The present invention provides a unified template matching technique which allows an adequate matching position to be provided even in an image with a distorted pattern shape and a variation in edge intensity. A correlation value contribution rate map is created for the vicinity of each of top candidate positions obtained by applying a centroid distance filter to a normalized correlation map resulting from template matching. A corrected intensity image is created from the correlation value contribution rate maps. Luminance correction is performed based on the corrected intensity image. Local matching is performed again on the vicinity of each candidate position. The candidates are then re-sorted based on candidate positions and correlation values newly obtained. Thus, even in an image with a distorted pattern shape and a variation in edge intensity, an adequate matching position can be provided in a unified manner.

摘要翻译： 本发明提供了一种统一的模板匹配技术，其允许即使在具有失真的图案形状和边缘强度的变化的图像中也能够提供足够的匹配位置。 对于通过将质心距离滤波器应用于由模板匹配得到的归一化相关图而获得的每个顶候选位置的附近，创建相关值贡献率图。 从相关值贡献率图形创建校正强度图像。 基于校正强度图像进行亮度校正。 在每个候选位置附近再次执行局部匹配。 然后基于新获得的候选位置和相关值对候选者进行重新排序。 因此，即使在具有失真的图案形状和边缘强度的变化的图像中，也能够以统一的方式提供足够的匹配位置。

公开(公告)号：US08139868B2

公开(公告)日：2012-03-20

申请号：US12194763

申请日：2008-08-20

申请人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： G06K9/62

CPC分类号： G06K9/6203

摘要： An inspection apparatus and method outputs an accurate matching position even if a search image contains a pattern similar to a template. An image search unit includes a relative position comparing unit which compares the relative position of a template in a template selection image with the relative position of a location currently being searched for in a search image and outputs the amount of position mismatch between the relative positions. A matching position determining unit determines a matching position by taking into consideration the amount of position mismatch in addition to search image similarity distribution information.

摘要翻译： 即使搜索图像包含类似于模板的图案，检查装置和方法输出精确的匹配位置。 图像搜索单元包括相对位置比较单元，其将模板选择图像中的模板的相对位置与搜索图像中当前正在搜索的位置的相对位置进行比较，并输出相对位置之间的位置失配量。 匹配位置确定单元除了搜索图像相似度分布信息之外还考虑位置偏差量来确定匹配位置。

公开(公告)号：US20110110597A1

公开(公告)日：2011-05-12

申请号：US12920724

申请日：2009-04-16

申请人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

发明人： Yuichi Abe ,  Mitsuji Ikeda ,  Yoshimichi Sato ,  Yasutaka Toyoda

IPC分类号： G06K9/48

CPC分类号： G06T7/60 ,  G06K9/6203 ,  G06T7/74 ,  G06T2207/10061 ,  G06T2207/30148

摘要： The present invention provides a unified template matching technique which allows an adequate matching position to be provided even in an image with a distorted pattern shape and a variation in edge intensity. A correlation value contribution rate map is created for the vicinity of each of top candidate positions obtained by applying a centroid distance filter to a normalized correlation map resulting from template matching. A corrected intensity image is created from the correlation value contribution rate maps. Luminance correction is performed based on the corrected intensity image. Local matching is performed again on the vicinity of each candidate position. The candidates are then re-sorted based on candidate positions and correlation values newly obtained. Thus, even in an image with a distorted pattern shape and a variation in edge intensity, an adequate matching position can be provided in a unified manner.

摘要翻译： 本发明提供了一种统一的模板匹配技术，其允许即使在具有失真的图案形状和边缘强度的变化的图像中也能够提供足够的匹配位置。 对于通过将质心距离滤波器应用于由模板匹配得到的归一化相关图而获得的每个顶候选位置的附近，创建相关值贡献率图。 从相关值贡献率图形创建校正强度图像。 基于校正强度图像进行亮度校正。 在每个候选位置附近再次执行局部匹配。 然后基于新获得的候选位置和相关值对候选者进行重新排序。 因此，即使在具有失真的图案形状和边缘强度的变化的图像中，也能够以统一的方式提供足够的匹配位置。