公开(公告)号：US20100233353A1

公开(公告)日：2010-09-16

申请号：US12405049

申请日：2009-03-16

申请人： Marcel Martini ,  Thomas Gebele ,  Uwe Hoffmann ,  Stefan Bangert ,  Michael Koenig

发明人： Marcel Martini ,  Thomas Gebele ,  Uwe Hoffmann ,  Stefan Bangert ,  Michael Koenig

IPC分类号： C23C16/00

CPC分类号： C23C14/243 ,  C23C14/12 ,  C23C14/543

摘要： An evaporator for applying vapor to a substrate at a coating rate is described. The evaporator includes an evaporator tube having a distribution pipe with at least one nozzle outlet, wherein the evaporator tube includes a pressure measurement device, the pressure measurement device comprising an optical diaphragm gauge.

摘要翻译： 描述了以涂布速率将蒸汽施加到基底的蒸发器。 蒸发器包括具有至少一个喷嘴出口的分配管的蒸发器管，其中蒸发器管包括压力测量装置，该压力测量装置包括光学膜片。

公开(公告)号：US20100098852A1

公开(公告)日：2010-04-22

申请号：US12256413

申请日：2008-10-22

申请人： Manuel Dieguez-Campo ,  Elisabeth Sommer ,  Marcel Martini ,  Florian Ries

发明人： Manuel Dieguez-Campo ,  Elisabeth Sommer ,  Marcel Martini ,  Florian Ries

IPC分类号： C23C16/52

CPC分类号： C23C14/54 ,  C03C17/002 ,  C23C14/243

摘要： An arrangement for the regulation of a gas stream or the like is provided, which comprises at least one vaporizer crucible for the vaporization of a material or at least one supply container with material vapor. The vaporized material or the material vapor is conducted via a vapor conduit to a substrate. The at least one vaporizer crucible or the at least one supply container is connected via a dosing pipe with the vapor conduit. A tappet projects into the dosing pipe. By means of a regulator the position of the tappet in the dosing pipe is regulated as a function of a measured variable.

摘要翻译： 提供了一种用于调节气流等的装置，其包括至少一个用于使物料蒸发的蒸发器坩埚或具有材料蒸气的至少一个供应容器。 蒸发的材料或材料蒸汽通过蒸汽导管传导到基底。 至少一个蒸发器坩埚或至少一个供应容器经由计量管与蒸气导管相连接。 挺杆投入到配料管中。 通过调节器，定量管中挺杆的位置作为测量变量的函数进行调节。