公开(公告)号：US20090305510A1

公开(公告)日：2009-12-10

申请号：US12134600

申请日：2008-06-06

申请人： Maria Heidenblut ,  Raimund Foerg ,  Walter Preis

发明人： Maria Heidenblut ,  Raimund Foerg ,  Walter Preis

IPC分类号： H01L21/3065

CPC分类号： H01L21/0337 ,  H01L21/02071 ,  H01L21/32138 ,  Y10S438/906

摘要： Disclosed is a method of structuring a material surface by dry etching, so that a passivation layer soluble in a solvent forms by the dry etching on parts of the structured material surface, sealing the passivation layer with a substance soluble in the solvent, and removing the sealed passivation layer and the substance by means of the solvent.

摘要翻译： 公开了通过干法蚀刻来构造材料表面的方法，从而通过在结构化材料表面的部分上的干蚀刻形成可溶于溶剂的钝化层，用可溶于溶剂的物质密封钝化层， 通过溶剂密封钝化层和物质。

公开(公告)号：US08183156B2

公开(公告)日：2012-05-22

申请号：US12134600

申请日：2008-06-06

申请人： Maria Heidenblut ,  Raimund Foerg ,  Walter Preis

发明人： Maria Heidenblut ,  Raimund Foerg ,  Walter Preis

IPC分类号： H01L21/302

CPC分类号： H01L21/0337 ,  H01L21/02071 ,  H01L21/32138 ,  Y10S438/906

摘要： Disclosed is a method of structuring a material surface by dry etching, so that a passivation layer soluble in a solvent forms by the dry etching on parts of the structured material surface, sealing the passivation layer with a substance soluble in the solvent, and removing the sealed passivation layer and the substance by means of the solvent.

摘要翻译： 公开了通过干法蚀刻来构造材料表面的方法，从而通过在结构化材料表面的部分上的干蚀刻形成可溶于溶剂的钝化层，用可溶于溶剂的物质密封钝化层， 通过溶剂密封钝化层和物质。